光學關鍵尺寸:多角度分光光譜臨界尺寸測量儀
多角度分光光譜臨界尺寸測量儀
Provide From Google
![晶圓量測與製程控制技術夯先進製程良率再添進程](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E6%99%B6%E5%9C%93%E9%87%8F%E6%B8%AC%E8%88%87%E8%A3%BD%E7%A8%8B%E6%8E%A7%E5%88%B6%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%A4%AF%E5%85%88%E9%80%B2%E8%A3%BD%E7%A8%8B%E8%89%AF%E7%8E%87%E5%86%8D%E6%B7%BB%E9%80%B2%E7%A8%8B.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
晶圓量測與製程控制技術夯先進製程良率再添進程
https://www.semi.org
Nova Measuring Instruments 演算法部門主管 Dror Shafir 指出,過去數十年來,業界都是利用光學關鍵尺寸(OCD)法來量測電晶體尺寸,且隨著製程線寬 ...
Provide From Google
![更清楚・微細深孔之非接觸透視先進封裝關鍵尺寸AI](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E6%9B%B4%E6%B8%85%E6%A5%9A%E3%83%BB%E5%BE%AE%E7%B4%B0%E6%B7%B1%E5%AD%94%E4%B9%8B%E9%9D%9E%E6%8E%A5%E8%A7%B8%E9%80%8F%E8%A6%96%E5%85%88%E9%80%B2%E5%B0%81%E8%A3%9D%E9%97%9C%E9%8D%B5%E5%B0%BA%E5%AF%B8AI-powered+....png?apikey=viVnb6N20jclO8)
更清楚・微細深孔之非接觸透視先進封裝關鍵尺寸AI
https://www.nstc.gov.tw
看的更細、更深、更清楚・微細深孔之非接觸透視先進封裝關鍵尺寸AI-powered光學量測系統. 發稿日期:112年4月26日工程技術研究發展處聯絡人:杜青駿 ...
Provide From Google
![看的更細、更深、更清楚先進封裝關鍵尺寸AI](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E7%9C%8B%E7%9A%84%E6%9B%B4%E7%B4%B0%E3%80%81%E6%9B%B4%E6%B7%B1%E3%80%81%E6%9B%B4%E6%B8%85%E6%A5%9A%E5%85%88%E9%80%B2%E5%B0%81%E8%A3%9D%E9%97%9C%E9%8D%B5%E5%B0%BA%E5%AF%B8AI-powered+%E5%85%89%E5%AD%B8+....png?apikey=viVnb6N20jclO8)
看的更細、更深、更清楚先進封裝關鍵尺寸AI
https://www.ntu.edu.tw
此系統以創新光學量測原理為基礎,運用深紫外寬頻光源作為光學偵測,藉機器學習演算進行反向優化最佳化,針對多項關鍵尺寸量測突破技術瓶頸,其開口尺寸可 ...
Provide From Google
![重點科技研究學院陳亮嘉教授團隊:高深寬比微結構之創新性 ...](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E9%87%8D%E9%BB%9E%E7%A7%91%E6%8A%80%E7%A0%94%E7%A9%B6%E5%AD%B8%E9%99%A2%E9%99%B3%E4%BA%AE%E5%98%89%E6%95%99%E6%8E%88%E5%9C%98%E9%9A%8A%EF%BC%9A%E9%AB%98%E6%B7%B1%E5%AF%AC%E6%AF%94%E5%BE%AE%E7%B5%90%E6%A7%8B%E4%B9%8B%E5%89%B5%E6%96%B0%E6%80%A7+....png?apikey=viVnb6N20jclO8)
重點科技研究學院陳亮嘉教授團隊:高深寬比微結構之創新性 ...
https://www.ntu.edu.tw
團隊所開發的光學關鍵尺寸量測技術,同時有效建立直接與逆向量測關鍵尺寸的方法。直接量測方式是對量測訊號進行直接分析,結構頂部尺寸以影像式量測;結構 ...
Provide From Google
![高深寬比微結構之創新光學散射關鍵尺寸量測技術](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E9%AB%98%E6%B7%B1%E5%AF%AC%E6%AF%94%E5%BE%AE%E7%B5%90%E6%A7%8B%E4%B9%8B%E5%89%B5%E6%96%B0%E5%85%89%E5%AD%B8%E6%95%A3%E5%B0%84%E9%97%9C%E9%8D%B5%E5%B0%BA%E5%AF%B8%E9%87%8F%E6%B8%AC%E6%8A%80%E8%A1%93.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
高深寬比微結構之創新光學散射關鍵尺寸量測技術
https://www.tiri.narl.org.tw
本研究發展了一創新之光學關鍵尺寸量測(OCD) 系統與技術,用以克服目前於先進封. 裝製程中,具高深寬比之微結構難以使用非破壞性檢測的困境。結合光譜反射術與光學散射.
Provide From Google
![高深寬比微結構之創新性具高信噪比光學關鍵尺寸量測技術](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E9%AB%98%E6%B7%B1%E5%AF%AC%E6%AF%94%E5%BE%AE%E7%B5%90%E6%A7%8B%E4%B9%8B%E5%89%B5%E6%96%B0%E6%80%A7%E5%85%B7%E9%AB%98%E4%BF%A1%E5%99%AA%E6%AF%94%E5%85%89%E5%AD%B8%E9%97%9C%E9%8D%B5%E5%B0%BA%E5%AF%B8%E9%87%8F%E6%B8%AC%E6%8A%80%E8%A1%93.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
高深寬比微結構之創新性具高信噪比光學關鍵尺寸量測技術
http://www.hiwin.org.tw
本研究基於整合光譜反射法(Spectral reflectometry)與散射量測法(Scatterometry). 兩種光學關鍵尺寸量測方法(Optical critical dimension (OCD) metrology),發展出一. 種 ...