cd-sem中文：臨界尺寸量測方法最佳化之研究

CD

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CD-SEM,全名Critical Dimension Scanning Electron Microscopy，中文翻译过来是：特征尺寸扫描电子显微镜。很多人听说过CD-SEM，第一反应是光刻工序中 ...

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CD-SEM,全名Critical Dimension Scanning Electron Microscopy，中文翻译过来是：特征尺寸扫描电子显微镜。很多人听说过CD-SEM，第一反应是光刻工序中 ...

CD

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CD-SEM（特徵尺寸測量用掃描電子顯微鏡）是一種根據圖像的灰度(grey-scale)來確定圖形的邊界，進而計算出線寬的掃描電子顯微鏡。測量圖形的尺寸，一般是依靠高解析度的 ...

VeritySEM 10 關鍵尺寸(CD) 量測

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全球半導體市場最新發展趨勢

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微距-掃瞄式電子顯微鏡(Critical Dimonsion-Scanning Electron Mcroscopcs； CD-SEM)是以電子束來對晶圓表面狀況加以顯像與量測， 故可提供遠高於一般顯微鏡之解析度。 在 ...

應用材料公司最新電子束量測系統提升高數值孔徑極紫外光 ...

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晶片製造商在微影成像機（lithography scanner）將圖案從光罩轉移到光阻後，可利用關鍵尺寸掃描式電子顯微鏡 （CD-SEM） 對其進行次奈米級的量測作業，並 ...

特征尺寸测量用扫描电子显微镜

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CD-SEM（特征尺寸测量用扫描电子显微镜）是一种根据图像的灰度(grey-scale)来确定图形的边界，进而计算出线宽的扫描电子显微镜。 基本信息. 中文名. 特征尺寸测量用扫描 ...

特徵尺寸測量用掃描電子顯微鏡

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CD-SEM（特徵尺寸測量用掃描電子顯微鏡）是一種根據圖像的灰度(grey-scale)來確定圖形的邊界，進而計算出線寬的掃描電子顯微鏡。