adi aei半導體：FAB 术语缩写

ADIAEI檢視作業視覺疲勞之評估改善

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半導體製程中ADI/AEI檢驗工作主要是透過顯微鏡進行，在長時間的視覺檢驗作業中，檢驗員常覺得眼睛疲勞不適。本研究主要目的在評估ADI/AEI檢視作業視覺疲勞的程度並改善 ...

SW221是一台高精度的黃光制程光學檢測設備(ADI)

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Key Features. 高精度晶圓黃光制程檢測量測設備(ADI/AEI); 巨觀檢測箭影、光阻殘留、曝光異常; 超微觀檢測Cell異常; 量測CDAA、CD bar、光罩曝光偏移以及版本異常. 更多 ...

[心得] 半導體黃光製程工作內容分享-4

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... AEI (after etch inspection).與etch開會時,一但AEI的結果不好,etch的大絕招就是AEI follow ADI, 所以是photo的問題.如果photo不懂etch的recipe,很 ...

半導體中ADI CD是什麼的縮寫資訊整理

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ADI用語是在於半導體微影製程中，A 代表AFTER ，D 代表DEVEROPER (加ed)，I 代表INSPECTION ，其實還有AEI，其中E代表ETCHER(ed)。 微影製程就是製造微小的電路，過程 ...

半導體制造、Fab以及Silicon Processing的基本知識

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一份完整的Design Rule包括有下列各部分：A.制程參數：如氧化層厚度、復晶、金屬層厚度等，其它如流程、ADI、AEI 參數。主要為擴散與黃光兩方面的參數。B.電氣參數 ...

半導體晶圓自動化表面缺陷檢測

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半導體＆ ETCH 知識，你能答對幾個？

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測蝕刻速率時,使用何者量測儀器? 答：膜厚計,測量膜厚差值. 何謂AEI. 答：After Etching Inspection 蝕刻後的檢查. AEI目檢Wafer須檢查哪些項目: 答：(1) ...

根据整体图案密度所实施的罩幕关键尺寸的校正

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本发明可以校正关键尺寸，还可以补偿整体蚀刻偏差，以及可以适用于各种蚀刻制程，例如用以形成半导体 ... 此外，在显影后检视(After-Development Inspection；ADI)、蚀刻后 ...

臨界尺寸量測方法最佳化之研究

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對半導體製程而言，ADI CD 的控制上，遠比AEI CD 重要，故本研究. 將著重在ADI CD ... 方面，獲取到廣義半導體產業相關知識，如元件物理原理、半導體製程、. 平面顯示器 ...