duv光刻機:小辭典》什麼是DUV設備?
小辭典》什麼是DUV設備?
![ASML獲准出口中國到年底!但中國爆出「國產」DUV將出貨](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/ASML%E7%8D%B2%E5%87%86%E5%87%BA%E5%8F%A3%E4%B8%AD%E5%9C%8B%E5%88%B0%E5%B9%B4%E5%BA%95%EF%BC%81%E4%BD%86%E4%B8%AD%E5%9C%8B%E7%88%86%E5%87%BA%E3%80%8C%E5%9C%8B%E7%94%A2%E3%80%8DDUV%E5%B0%87%E5%87%BA%E8%B2%A8.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
ASML獲准出口中國到年底!但中國爆出「國產」DUV將出貨
https://www.bnext.com.tw
面對制裁,傳出中國正在研發28奈米DUV,預計年底前交付第一台,以下為2023年8月8日報導。 曝光機是決定半導體生產製成水平高低的核心技術,包含光學系統、 ...
![DUV光刻機從7nm再衝5nm?浸潤光刻之父:行!但成本極高](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/DUV%E5%85%89%E5%88%BB%E6%A9%9F%E5%BE%9E7nm%E5%86%8D%E8%A1%9D5nm%EF%BC%9F%E6%B5%B8%E6%BD%A4%E5%85%89%E5%88%BB%E4%B9%8B%E7%88%B6%EF%BC%9A%E8%A1%8C%EF%BC%81%E4%BD%86%E6%88%90%E6%9C%AC%E6%A5%B5%E9%AB%98.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
DUV光刻機從7nm再衝5nm?浸潤光刻之父:行!但成本極高
https://www.chinatimes.com
近日有著「浸潤式光刻之父」之稱的台積電前研發副總林本堅(Burn Lin)受訪時表示,依靠荷蘭艾斯摩(ASML)的DUV光刻機,可以繼續將製程工藝從7nm再推 ...
![DUV和EUV光刻机的区别在哪?](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/DUV%E5%92%8CEUV%E5%85%89%E5%88%BB%E6%9C%BA%E7%9A%84%E5%8C%BA%E5%88%AB%E5%9C%A8%E5%93%AA%EF%BC%9F.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
DUV和EUV光刻机的区别在哪?
https://m.zhitongcaijing.com
DUV和EUV最大的区别在光源方案。EUV的光源波长为13.5nm,但最先进DUV的光源波只有193nm,较长的波长使DUV无法实现更高的分辨率,因此DUV只能用于制造7nm及以上制程的芯片。
![DUV和EUV光刻机的区别在哪?](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/DUV%E5%92%8CEUV%E5%85%89%E5%88%BB%E6%9C%BA%E7%9A%84%E5%8C%BA%E5%88%AB%E5%9C%A8%E5%93%AA%EF%BC%9F--%E7%A7%91%E6%99%AE%E7%9F%A5%E8%AF%86.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
DUV和EUV光刻机的区别在哪?
http://www.ime.cas.cn
DUV和EUV最大的区别在光源方案。EUV的光源波长为13.5nm,但最先进DUV的光源波只有193nm,较长的波长使DUV无法实现更高的分辨率,因此DUV只能用于制造7nm及 ...
![中國光刻機國產化真相到底如何?深度分析光刻機全球供應鏈!](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E4%B8%AD%E5%9C%8B%E5%85%89%E5%88%BB%E6%A9%9F%E5%9C%8B%E7%94%A2%E5%8C%96%E7%9C%9F%E7%9B%B8%E5%88%B0%E5%BA%95%E5%A6%82%E4%BD%95%3F%E6%B7%B1%E5%BA%A6%E5%88%86%E6%9E%90%E5%85%89%E5%88%BB%E6%A9%9F%E5%85%A8%E7%90%83%E4%BE%9B%E6%87%89%E9%8F%88%EF%BC%81.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
中國光刻機國產化真相到底如何?深度分析光刻機全球供應鏈!
https://hao.cnyes.com
目前光刻機主流是:一種浸潤式DUV,稱之為深紫外線光刻機,主要用於10-130nm光刻機。一種是EUV光刻機,也稱之為極紫外線光刻機,用於7nm及以下的芯片光刻 ...
![台積電不能沒有它!艾司摩爾崛起的秘密](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E5%8F%B0%E7%A9%8D%E9%9B%BB%E4%B8%8D%E8%83%BD%E6%B2%92%E6%9C%89%E5%AE%83%EF%BC%81%E8%89%BE%E5%8F%B8%E6%91%A9%E7%88%BE%E5%B4%9B%E8%B5%B7%E7%9A%84%E7%A7%98%E5%AF%86.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
台積電不能沒有它!艾司摩爾崛起的秘密
https://www.iqvalue.com
在2004年之前,光刻設備機主要以光為介質,偏偏這個時候,台積電的研發副總林本堅 ... DUV是深紫外線(Deep Ultraviolet Lithography),EUV是極深紫外線(Extreme ...
![極紫外光微影製程](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E6%A5%B5%E7%B4%AB%E5%A4%96%E5%85%89%E5%BE%AE%E5%BD%B1%E8%A3%BD%E7%A8%8B.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
極紫外光微影製程
https://zh.wikipedia.org
極紫外光微影(英語:extreme ultraviolet lithography,中國大陸稱為極紫外光刻,簡稱 ... 早期市面上DUV微影製程機台的供應商以Canon以及Nikon為主, 浸潤式微影(英語 ...