薄膜製程種類：薄膜的製造技術
薄膜的製造技術
〈工業技術與資訊〉先進半導體薄膜設備智慧製程技術
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半導體是臺灣在全球高科技版圖的代名詞，而半導體的薄膜製程，可說是晶圓加工的基礎。當一片片晶圓製造完成後，就會進入加工階段，首先會在晶圓表面鍍上 ...
脈衝離散注入法及原子層沉積技術之半導體薄膜製程應用
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本文簡介原子層沉積技術和脈衝離散注入方法之原理，接續以製程廣泛使用的氧化鋁材料，驗證應用脈衝離散注入方法後之薄膜原子層披覆能力，透過計算沉積時間 ...
薄膜
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薄膜技術有很廣泛的應用。長久以來的研究已經將鐵磁薄膜用於計算機存儲設備，醫藥 ... 依沉積材料、基板的種類可分為:抵抗加熱、電子束、高周波誘導、雷射等加熱方式 ...
薄膜技術Thin film www.tool
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薄膜製程為一個極為要的關鍵步驟，其主要用途為低阻閘電極、元件間連線、導體(線)接觸、擴散障礙層，如圖七(a)。另外，光學薄膜製程技術一直是光學領域中 ...
薄膜技術之現況與展望
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隨著沈積技術及沈積參數差異，所形成薄膜的組織，可分為「單晶」「多晶」、或「非結晶」的結構。 常見的技術: 物理氣相沈積技術、化學氣相沈積技術。 薄膜技術的應用: 目前 ...
薄膜材料技術
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薄膜材料技術. 報告人:張子欽. 勤益技術學院機械系. 2002. 6. 6. Page 2. 2. ○大綱. ○硬質膜結構簡介. ○離子束材料表面改質技術概述. ○離子束濺鍍沉積應用於超大型. 積 ...
越薄越好，3D薄膜製程大挑戰：淺談原子層沈積技術
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圖二、3D薄膜成長機制比較：(a) PVD與(b) CVD均受限於材料源頭與目標的相對位置限制，無法達成均勻鍍膜，(c)ALD藉由獨特的表面成長機制，可以不受結構限制長均勻薄膜。(d) ...