旋轉塗佈機用途:塗佈裝置的類型
塗佈裝置的類型
BSC 鍵合材料旋轉塗佈機
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裝置為單晶圓旋轉模式鍵合材料塗布設備, 主要應用為利用晶圓旋轉的離心力,將鍵合材料均勻的塗布在將晶圓表面上,達到特定塗布層膜後的工藝用途。 標準配備. 專利直噴嘴.
COATING製程塗佈鍍膜不均勻?
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旋轉塗佈屬於濕式鍍膜,其基材以真空接吸方式,於物件中心落下塗佈液體,利用旋轉離心力的方式平均散布液體於物件上並快速甩出多於液體並令其形成一層薄膜。
MIKASA製旋轉塗佈機(Spin Coater)
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「旋轉塗佈機」為利用真空吸住基板,將欲塗佈的化學物質,如光阻劑,藉由高速旋轉產生的「離心力」將化學藥劑均勻塗佈於平坦基材上面的設備。【特徵1】MIKASA自1960 ...
以二氧化鈦為基礎的薄膜(下)
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旋轉塗佈是一種沉積薄膜在平坦基底上的方法。將少量溶膠或凝膠塗佈在基底的中心,接著將基材在高速旋轉下利用離心力散布塗料,繼續轉動使流體旋轉至基 ...
旋轉塗佈技術簡介
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Integrating multi-materials auto dispense, bowl exhaust, wafer centering, and etc. to meet different process/production requirements. 8吋基板光阻塗佈用. For 8in ...
旋轉塗佈機
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旋轉塗佈機,spin coaters,利用真空吸住基板,將欲塗佈的化學物質,如:光阻劑,由上方噴嘴滴下,藉由旋轉的離心力將物質均勻散佈,塗佈膜的厚度則視化學物質黏度,以及旋轉 ...
旋轉塗佈機的概要
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旋轉塗覆
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《旋轉塗覆》(英語:Spin coating)是一種高速成膜方法,可以得到均勻的薄膜,均勻性廣泛應用於半導體材料及化工材料等薄膜製備。它利用旋轉產生的離心力,將溶膠、 ...
旋转涂布机
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用途. 涂布抗蚀剂涂布绝缘膜(聚酰亚胺等) 高粘度材料涂布(800cps / 1000cps / 2000cps). 特征. 可用于大尺寸(G6 G8 G10掩膜); 适用于高粘度材料. 联系我们.