pi pr光阻:微凸塊與其他結構之銅、鎳、錫銀與鉛電鍍用光阻
微凸塊與其他結構之銅、鎳、錫銀與鉛電鍍用光阻
Ch 6
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光阻劑(Photoresist, PR). 負光阻. ▫. 經曝光後變不可溶. ▫. 經顯影製程,未曝光部 ... ▫ Good resolution, good resistance, and good adhesion. ▫ The thinner, the ...
IC光阻市場及技術發展趨勢
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(PI)光阻系統等為平坦化材料(Planarizing. Layer) 當作下層光阻,它的上層為含無. 機高分子(如Siloxane)可成像的光阻材. 料﹐運用一般微影製程定義出上層圖案. 後﹐便 ...
RGB 光阻,PS光阻,PI光阻,BM光阻
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R/G/B 光阻,PS光阻,PI光阻,BM光阻 · 制程特性: 高光遮蔽性、高塗布均勻性、高感度、高附著、較大顯影制程窗口 · 可靠度: 高耐熱性、高耐光性、高耐化性、高儲存安定性.
光阻劑
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• 顯影劑溶解光阻軟化之部分,並將光罩或. 倍縮光罩上的圖案轉到光阻上. • 三個基本步驟 ... PR. Total Light. Intensity. Final Pattern. Designed Pattern. Substrate. PR.
光阻劑
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光阻劑(英語:photoresist),亦稱為光阻或光阻劑,是指經過紫外光、深紫外光、電子束、離子束、X射線等光照或輻射後,溶解度發生變化的耐蝕刻薄膜材料,是微影製程中 ...
公司介紹
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正光阻(斷鍵):被紫外光照射到的部份產生化學反應,. 使得化學鍵結變鬆散而容易被「顯影液」溶解掉。 • 負光阻(交聯):被紫外光照射到的部份產生化學反應,.
去光阻液
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近年來先進封裝製程導入低溫型固化型聚醯亞胺(Polyimide, PI) 薄膜,其耐化性較傳統高溫固化型PI為弱,在接觸有機溶劑製程時很容易受到損傷。另外多層PI結構經過重複烘烤 ...
旋轉塗佈技術簡介
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○ 光阻塗佈(半導體、平面顯示、觸控). ○ 光學膜塗佈(增亮、抗炫、抗反射). ○ 陽極膜塗佈(鋰離子電池). Page 3. 塗佈基材. ○ 捲材(Roll):PP, PET, PI, Copper Foil.
正型光阻 PI PBO Positive PR PI PBO
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產品型號, RTD-PA13. 主要成份, TMAH ( 2.38% ~ 3% ). 作業溫度, RT. 適用範圍, 正型光阻/ PI / PBO. 產品特色. 高殘膜率; 針對Al pad 有特殊保護,防止腐蝕 ...