浸潤式微影原理：林本堅神推浸潤式微影技術ASML總裁嘆：是個奇蹟！
林本堅神推浸潤式微影技術ASML總裁嘆：是個奇蹟！
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台積電重要推手！浸潤式微影之父林本堅院長！
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奈米世代微影技術之原理及應用
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浸潤式微影技術相較於傳統乾式微影術，有高解析度及高聚焦景深的優點，而193 nm浸潤式微影機台的開發，可以利用現今技術作一改良，而與目前業界所普遍使用之機台與製程共存 ...
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林本堅以浸潤式微影技術開創產業未來
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過去半導體晶片製程中，主要採用乾式曝光，以空氣為鏡頭和晶圓之間的介質，把光罩上的圖形在晶圓上成像；而浸潤式微影則是以水為介質，在鏡頭和晶圓之間注入水，光的波長在 ...
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浸潤式微影壽命延長EUV恐無出頭天？
https://www.semi.org
上述原理是利用光通過液體介質時會彎折的特性──把筆直的筷子插在裝滿水的玻璃杯時，會看到好像折斷了──因為如此，顯微鏡的影像透過浸濕的鏡頭會進一步 ...
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浸潤式微影技術
https://scitechvista.nat.gov.t
後來呢，根據光學的原理，我們就放點水在那個鏡頭的下面，就是在鏡頭跟晶片之間填滿了水。光波在真空裡面大概是193奈米的波長，它到了水之後，因為水的 ...
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浸潤式微影技術的問世與挑戰
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這項技術的原理，便是利用介改變造成光線折射的原理，讓原本的波長改變，從而可以生成更小的波長。若以193奈米當做基底，則可以生成134奈米的光，甚至遠遠 ...
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浸潤式微影與EUV技術
https://www.ic975.com
後來呢，根據光學的原理，我們就放點水在那個鏡頭的下面，就是在鏡頭跟晶片之間填滿了水。光波在真空裡面大概是193奈米的波長，它到了水之後，因為水 ...
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衝破晶圓製造瓶頸的一滴水
https://www.ltedu.com.tw
應用浸潤式微影技術，可以在晶圓上投射出更微小的電路，但是水裡的微氣泡會使電路的完整性受到破壞。 193奈米的微影技術機台早已歷經時間的考驗，晶片廠可把重點放在這個 ...