浸潤式微影技術wiki：極紫外光微影製程
極紫外光微影製程
林本堅以浸潤式微影技術開創產業未來
https://www.itri.org.tw
因為在浸潤式微影（Immersion Lithography）技術上的成就，台積電奈米影像技術研究發展副總經理林本堅獲頒今年度的國際電機電子工程師學會（IEEE）西澤潤一獎（Jun-ichi ...
林本堅神推浸潤式微影技術ASML總裁嘆：是個奇蹟！
https://www.wealth.com.tw
浸潤式微影技術教父、台積電前研發副總林本堅堅持研發對半導體產業帶來巨大影響。艾司摩爾（ASML）總裁布林克（Martin van den Brink）接受荷蘭媒體de ...
浸潤式微影壽命延長EUV恐無出頭天？
https://www.semi.org
... 影技術可將其使用壽命延續至40~45奈米節點 浸潤式微影技術被如此快速接受的原因，是因為奠基於經證實的浸潤式顯微鏡(immersion microscopy)原理。該原理 ...
浸潤式微影技術
https://scitechvista.nat.gov.t
這種「加了水」的微影技術，就叫做浸潤式微影技術。透過它，以及其他相關技術的發展，人類成功地讓晶片愈來愈精密，電路的線寬愈來愈細。剛剛提到在65 ...
浸潤式微影技術的問世與挑戰
https://techthy.org
... 微影技術上下手，提出從傳統的乾式微影，轉移成浸潤式濕式微影技術。這項技術的原理，便是利用介改變造成光線折射的原理，讓原本的波長改變，從而可以 ...
浸潤式微影與EUV技術
https://www.ic975.com
這種「加了水」的微影技術，就叫做浸潤式微影技術。因為光的波長縮短到134奈米，比157奈米更短，搭配其他技術，可以順利做出40奈米的線寬；跟65奈米 ...
簡單的光學突破3C 科技瓶頸：浸潤式微影
http://phys5.ncue.edu.tw
浸潤式微影利用簡單的物理光學原理，包含折射、繞射與鑑別度，可以. 同時改善解析度和焦距深度。使用原有微影系統，搭配浸潤式微影，可以達到更. 短光源波長的效果，對IC ...
讓摩爾定律成真的關鍵： 微影技術— 影響七十億以上個未來
https://ee.ntu.edu.tw
那微影技術的基本原理是甚麼呢？其實非常類似. 於我們 ... 浸潤式多重圖案微影（Innovative 193 nm immersion ... org/wiki/Moore's_law. 6. The Optical Society：http ...
軟微影技術
https://zh.wikipedia.org
軟微影技術(soft lithography)，又稱軟微影製程、可撓性奈米轉印、軟蝕刻技術或軟光刻技術，是一種用軟性高分子材質做成的可撓性刻印的模具，在模具上面塗佈具有自我 ...