砷化鎵 雷 射 切割:雷射全切割加工
雷射全切割加工
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二極體雷射切割機的核心是雷射二極體本身。 二極雷體雷射通常由砷化鎵等半導體材料製成。 將電流輸入到二極體時,它會發射光子,產生相干的單色雷射光束。
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CN104868017A
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本发明适用于砷化镓电池加工领域,提供了一种砷化镓电池的激光加工方法,通过对砷化镓晶片进行切割形成多个砷化镓电池,首先采用紫外激光对所述GaAs层进行加工, ...
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一種用於雷射切割半導體晶圓之製程方法
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一種用於雷射切割半導體晶圓之製程方法
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在高功率雷射光聚焦照射的過程中,砷化鎵會開始局部升. 溫並分解出砷蒸汽以及微小的砷化鎵殘骸顆粒。在雷射切割的過. 程中,這些砷化鎵殘骸將會重鑄於切割邊緣及元件表面。
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砷化鎵晶圓切割設備
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Inducer-5560砷化鎵GaAs晶圓切割設備,選用優質雷射頭,全自動加工流程,確保高效、高質量的完成客戶產品的切割工作,提供切+裂+擴全套解決方案。 業務窗口.
![砷化鎵晶圓雷射切割參數最佳化之研究](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E7%A0%B7%E5%8C%96%E9%8E%B5%E6%99%B6%E5%9C%93%E9%9B%B7%E5%B0%84%E5%88%87%E5%89%B2%E5%8F%83%E6%95%B8%E6%9C%80%E4%BD%B3%E5%8C%96%E4%B9%8B%E7%A0%94%E7%A9%B6.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
砷化鎵晶圓雷射切割參數最佳化之研究
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選定具代表性的三個重要切割參數,包括:雷射功率(7, 8, and 9 W)、焦距深度(–15, –30, and –45 µm)、工件平台移動速度(即切割速度0.16, 0.17, and 0.18 m/s),每個參數有 ...
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![紫外光的雷射加工技術應用於砷化鎵晶片切割研究](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E7%B4%AB%E5%A4%96%E5%85%89%E7%9A%84%E9%9B%B7%E5%B0%84%E5%8A%A0%E5%B7%A5%E6%8A%80%E8%A1%93%E6%87%89%E7%94%A8%E6%96%BC%E7%A0%B7%E5%8C%96%E9%8E%B5%E6%99%B6%E7%89%87%E5%88%87%E5%89%B2%E7%A0%94%E7%A9%B6.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
紫外光的雷射加工技術應用於砷化鎵晶片切割研究
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紫外光的雷射加工技術應用於砷化鎵晶片切割研究. 論文名稱(外文):, UV laser processing technology applied GaAs wafer sawing reserch. 指導教授: 施明昌. 指導教授(外文): ...
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雷射切割
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高頻率電子元件中使用的GaAs(砷化鎵)等化合物半導體,在採用金剛石切割刀片進行切割(以下:刀片切割)時,切割速度慢、難以提高生產效率。 另外,在Sip(System in Package) ...