apc半導體：先進製程控制技術(APC)導論
先進製程控制技術(APC)導論
APC應用在半導體蝕刻製程之氣體回饋機制
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本論文的主要目的，是設計出一個應用在乾式蝕刻機台的演算模型，於每一次生產前，使用演算模型來計算出最佳的氣體流量，並透過機台輸入參數的方式，即時地進行氣體流量 ...
Redefine Innovation
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2. APC製程控制，則是先找出關鍵指標還有製程機台的關係，再根據監控結果實時調整製程機台，提高製程的穩定度，也能做到製程的自動控制，在半導體產業是很 ...
【製程控制方法
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【製程控制方法- SPC & APC】 在半導體或封裝產業相關中，對製程的控制主要有兩種方式：SPC（Statistical Process Control）和APC（Advanced Process ...
以最小平方法建構先進製程控制系統= Advanced Process ...
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本論文以偏最小平方法(Partial Least Squares, PLS)為基礎來建構一個先進製程控制系統(Advanced Process Control, APC)， 由於在半導體的製程當中，製程參數通常有多重 ...
先進半導體製程設備監控系統設計
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本論文研究將依循半導體製程設備之機電特性及運轉需求，進行整體生產過程中生產流程及異常之監控，並導入知識管理的概念，將半導體製程設備之運轉流程作一系統性的研究 ...
先進製程控制技術(APC)導論
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基本上APC算是某類系統的總稱，是由SEMI所定義與推廣的技術，通常包括下列項目：R2R（批次控制；Run-to-run control）、FDC（故障偵測與分類；Fault ...
先進製程控制技術發展趨勢
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APC商用系統提供者近年已有長足的進步，具備提供複雜演算的能力來協助資料的分析，以及方便使用的資料蒐集人機介面。從較簡單的失誤偵測與分類(Fault Detection and ...
先進製程控管
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在過去的二，三十年，文獻對APC的控制演算法、系統介面和基礎架構進行了廣泛的研究，APC應視為一永續精進半導體製程良率與穩定的實踐手段，其通常由幾個工程系統構成：批次 ...
整合分析挖掘半導體製造智慧
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製程資料整合暨分析的目的，就在於提高良率、縮短上市時間，其中最廣為人知的即是「先進製程控制(Advanced process control；APC)」法則，其中最常被 ...