euv duv波長：甚麼是深紫外光DUV

DUV和EUV光刻机的区别在哪？

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DUV已经能满足绝大多数需求：覆盖7nm及以上制程需求。DUV和EUV最大的区别在光源方案。EUV的光源波长为13.5nm，但最先进DUV的光源波只有193nm，较长的波长使DUV无法实现 ...

DUV和EUV光刻机的区别在哪？

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EUV

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EUV, DUV, XUV 有什么区别？对应的波长分别是多少？ · （1）它们的全称分别是. UV = ultraviolet. EUV = extremely ultraviolet · （2）它们对应的波长 ...

全球瘋搶EUV 曝光機！究竟是摩爾定律的救命曙光

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極紫外光（Extreme ultraviolet, EUV）是波長小於13.5 奈米的光，使用EUV 作為光源的曝光機，即為EUV 曝光機。由於造價昂貴、製程繁複、貨源稀少 ...

小辭典》什麼是DUV設備？

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... DUV），波長可從365奈米縮減到193奈米；最新技術的極紫外光源（Extreme Ultraviolet；EUV），更將波長縮減至13.5奈米。 目前以DUV設備應用最廣、需求 ...

新一代製程的關鍵：13.5奈米的「極端」紫外光

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它的優點是波長的匹配：其波長13.5奈米和EUV常用的光學元件(通常是鉬和矽的多層結構)搭配的很好，反射率可以高達60%以上。它的缺點是副產物：受雷射照射後 ...

极紫外光刻

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EUV微影製程選擇第二中作法,將光源波長降低13.5奈米來提升電路圖案解析度，由於EUV波長太短,非常容易被大氣吸收,因此此道製程需要在真空環境中完成。目前EUV微影製程機台由 ...

極紫外光微影製程

https://zh.wikipedia.org

EUV微影製程選擇第二中作法,將光源波長降低13.5奈米來提升電路圖案解析度，由於EUV波長太短,非常容易被大氣吸收,因此此道製程需要在真空環境中完成。目前EUV微影製程機台由 ...