turbo pump原理：渦輪分子幫浦的運作方式

Pfeiffer Turbo pump 渦輪分子泵工作原理

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（1）利用氣體分子和高速運動的機件互相碰撞之作用而將氣體分子帶出系統外氣體分子質點碰撞到運動機件的表面，分子質點碰撞反彈後，將會在其原來的熱力速度之外獲得一部分 ...

Turbo Pump出現動不平衡的現象？

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Vacuum pumps 真空幫浦

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動力學幫浦(kinetic vacuum pump)：利用高速運動之蒸氣. 分子，經碰撞把動量給待抽氣體，並將待抽氣體排往較. 高壓力之區域。 Ex: 渦輪分子幫浦(turbo molecular ...

渦輪分子幫浦

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磁浮軸承是利用. 二磁性相反的磁鐵(永久磁鐵或電磁鐵)相斥的原理而將整個軸承. 及轉子系統漂浮於空中自轉,轉子的位置以感應器隨時監控並將偏. 移量傳回控制系統,改變電流 ...

渦輪式分子真空幫浦

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在高真空時,使器壁以高速運動,當氣體分子撞向. 器壁而且在其表面上停留一短暫的時間的話,則氣體分. 子將被器壁加速而得到與器壁表面運動方向相同的部分. 速度,如果把器壁做 ...

真空抽氣技術

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分子渦輪幫浦的運作原理基本上是，讓上游氣體與快速移動的固體邊界（通常是做成圓形的轉子）碰撞後，氣體獲得高速度並改變方向而移動至下游，左圖為其運作機制圖解。

第一節真空幫浦

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機械動能傳遞式(turbo-molecular pump). 流體 ... 冷凍幫浦（cryogenic pump簡稱cryo pump）. 離子幫浦 ... 以冷凍為基本抽氣原理的幫浦多以液態氦為冷凍介質，此.

認識渦輪分子式幫浦

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渦輪分子式幫浦(turbo molecular pump,簡稱. TMP)是源 ... 直接驅動型磁浮式軸承原理: 1.由於兩組對立電磁鐵之 ... 並與完全無油式之乾式幫浦(Dry Pump)配合創造了最. 潔淨 ...