魯式幫浦原理：半導體真空幫浦轉子之設計與模型製作
半導體真空幫浦轉子之設計與模型製作
乾式幫浦(dry pump)
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乾式幫浦主要有魯式、螺旋. (screw)、挖爪(claw)、分子曳引(molecular drag)與. 渦輪分子等型。主要是藉著高速轉子壓縮氣體或動能傳. 遞將氣體排出,因為非接觸型,轉速高達 ...
真空幫浦
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由於一大氣壓力的空氣具有極大的黏滯摩擦力，魯式幫浦若在一. 大氣壓力的環境運轉，將會因為機件過熱而導致轉子的熱膨脹，造成. 轉子與轉子或轉子與靜子的相互摩擦，進而 ...
真空抽氣技術
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乾式幫浦的種類非常繁多，計有多級魯式幫浦、爪式幫 ... 分子渦輪幫浦的運作原理基本上是，讓上游氣體與快速 ... 這類的幫浦包含吸附幫浦、冷凍幫浦、離子幫浦、鈦昇華幫浦等。
真空機械幫浦原理解說及維修
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真空幫浦之操作原理是由機械式動作自真空腔室中抽氣,接著在幫. 浦中進行氣體傳輸、壓縮、排氣之行程,達到抽真空的效果。由抽. 氣機構中幫浦腔室中是否含有油脂等液體, ...
第一節真空幫浦
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利用賦予氣體分子動能的排氣式幫浦或將氣體貯存在幫浦 ... 以冷凍為基本抽氣原理的幫浦多以液態氦為冷凍介質，此 ... 故起動時即用其前段幫浦經由渦輪分子幫浦直接將幫 ...
迴轉葉片幫浦的運作方式
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油封式迴轉幫浦的操作原理 ... 排氣型真空幫浦一般是在活塞、轉子、葉片與閥或類似物品的輔助之下將要抽排的氣體吸入，可能還經過壓縮然後排出的真空幫浦。抽氣製程透過幫浦 ...
魯式幫浦的運作方式
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魯式幫浦的操作原理 ... 魯式真空幫浦(見圖2.17) 是迴轉正排氣類型的幫浦，它有兩個對稱形狀的葉輪在幫浦外殼內近距離交互轉動。這兩個轉子的橫截面與圖8 的形狀很接近，其由 ...
魯式轉子真空泵浦和鼓風機
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... 魯式轉子真空泵浦則產生真空。它們的運作原理相同，但使用方式不同。魯式鼓風機通常直接連接到需要正壓的系統，而魯式轉子真空泵浦通常連接到底泵浦。 魯式轉子真空泵 ...