半導體氣體感測器原理

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二、半導體式氣體感測器工作原理. 金屬氧化物半導體式氣體感測器需在一定的. 工作溫度(200 °C－400 °C) 下使用，其感測原理. 則因半導體氧化物表面的導電率會因為氣體 ...

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傳統的半導體. 式氣體感測器，利用發熱器保持高溫狀態下，使半. 導體金屬氧化物與可燃性氣體接觸，以其電阻變化. 會與氣體濃度的改變成一定關係作為偵測原理. [4-9]。

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它的偵測原理為可燃性氣體如H2 及CO 與吸附在半導體氧化物且帶負電荷的氧離子產生反應。吸附在感測器表面的氧離子因溫度而存在有不同的形式，一般半導體氣體感測器的操作 ...

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這種感測器用於檢測還原性氣體非常有. 效,它的原理與原電池型氣體感測器不一樣,. 它的電化學反應是在電流強制下發生的。這種. 感測器已經成功用於:一氧化碳、氫氣、氨. 氣 ...

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該感測器使用半導體製程在壓電基板上製備指叉式金屬電極，並覆蓋感測薄膜。薄膜的質量隨著其材料選擇性地從空氣中吸附化學物質而增加，這會導致共振轉移到略低的頻率，從而 ...

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金屬氧化物如氧化鋅(ZnO)、氧化錫(SnO)等,由於結構上的缺陷,具有半導體特. 性,當氣體分子吸附於金屬氧化物表面時,其導電性將產生變化,可藉由量測電阻變化. 值進而換算得知 ...

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以下. 將以氣體感測器為案例，進行相關原理、材料、製程介紹。二、半導體式氣體感測器原理. 1. 金屬氧化物半導體(Metal Oxide Semiconductor, MOS) ...