均勻度u%
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本发明涉及一种半导体制造技术,特别是涉及一种膜淀积技术中对所形成的膜的膜厚均匀性进行监测的方法。 ... 均匀性(thickness uniformity)均是重要的监测指标。 ... U % = [ ( ...
LED專業術語
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亮度均匀度: LED平板灯具或OLED照明光源上不同发光区域亮度的均匀程度。 luminance uniformity: ...
uniformity%的计算公式如何选择?
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膜厚均一度有两个计算公式一个是(max-min)/(2*average)或者(max-min)/(max+min),这两个公式到底如何选…
⑵試寫出影響棉條非均勻度(U%)之要因圖。(10 分)
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測驗模式 · 申論題 · 技師◇紡紗工程; ⑵試寫出影響棉條非均勻度(U%)之要因圖。(10 分). 技師◇紡紗工程題庫. 查單字:關. 【非選題】 ⑵試寫出影響棉條非均勻 ...
【UMC 知識家-
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... 均勻度(uniformity),也就是說,wafer的中央部分與邊緣部分、還有wafer的上下左右的製程條件都最好是接近類似的,圓形的設計是最容易達到這個目的的 ...
什麼是uniformity技術?
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螢幕出現不均勻的原因是面板中某些物理元素的不均勻性,這會導致面板不同部分的亮度或顏色不一致。 這些包括背光不均勻或導光模組不均勻。 發生這種情況時 ...
應用實驗設計法最佳化積體電路蝕刻製程參數設定值
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... ,本研究以所找出之蝕刻製程最佳參數設定值在M公司進行小批量生產,結果驗證了本研究方法確實能有效提升M公司蝕刻製程線寬之均勻度(Uniformity,U%)。
濺鍍製程薄膜均勻性的研究
https://tpl.ncl.edu.tw
薄膜均勻性是薄膜厚度分佈的狀況,均. 勻性佳代表基板不同位置的薄膜厚度相當接. 近,反之均匀性不佳,代表基板不同位置的薄. 膜厚度不太一致,因此均勻性佳有著較大的生. 產 ...
第一章緒論
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調變,另外所期望的目標分別為厚度15000 與均勻度(U)0.8%以及初始輸入值. (initial recipes)為Pressure 7.1 torr、RF power 610W 及Spacing 410 mils。 °. A. 分別對機台 ...
薄膜量測標準
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uniformity、缺陷檢測、奈米微粒或空隙在 ... 其標準不確定度為 u(δt)=0.049與u(δφ)=0.0001,靈敏係數同為1。 2. 入射角不確定度u(δg)與u(δa):. 入射角不確定度u(δg), u(δa) ...