均勻性公式

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本发明公开了一种监测膜厚均匀性的方法，包括如下步骤：第1步，在一个硅片的薄膜上，取硅片中心位置的一个或多个测量点测量膜厚，取硅片边缘位置的一个或多个测量点 ...

uniformity%的计算公式如何选择？

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膜厚均一度有两个计算公式一个是（max-min)/(2*average)或者(max-min)/(max+min)，这两个公式到底如何选…

【Excel教學】均勻性彙整與計算

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【Excel教學】均勻性計算彙整

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均勻性公式. 常使用的均勻性公式為以下：. 所以以上方表格做計算的公式則為：「=1-((MAX(B3:H8)-MIN(B3:H8))/(2*AVERAGE(B3:H8)))」，結果為91.1%。

什么是片内&片间均匀性？

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片内均匀性是指单片晶圆上不同位置之间的指标差异。 · 但是没有太统一的均匀性计算公式，根据习惯不同，计算公式也会不同， · Minimum Value 是在晶圆上测量 ...

什么是片内&片间均匀性？ 转载

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均匀性是衡量工艺在晶圆上一致性的一个关键指标。比如薄膜沉积工序中薄膜的厚度；刻蚀工序中被刻蚀材料的宽度，角度等等，都可以考虑其均匀性 ...

均勻試驗設計的理論及其應用

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本文介紹均勻設計的. 基本想法和一些近來發展,其中包括了各種建模方法和均. 勻設計的優良性。 關鍵詞: 均勻設計,部分因子實施,電腦仿真試驗。 美國數學會分類索引:主要 ...

濺鍍製程薄膜均勻性的研究

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薄膜均勻性是薄膜厚度分佈的狀況,均. 勻性佳代表基板不同位置的薄膜厚度相當接. 近,反之均匀性不佳,代表基板不同位置的薄. 膜厚度不太一致,因此均勻性佳有著較大的生. 產 ...

照度均勻度

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光線分佈越均勻説明照度越好，視覺感受越舒服，照度均勻 ... 最小照度值是按照逐點計算法算出來。 公式：U0=Emin/Eav ... 由於照度均勻性本身的非線性，使得其難以直接按照 ...

統計

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... 計算公式如下： ... 工程品管上常以標準差或變異係數表示工程品質之不均勻性，其值愈大表示愈不均勻。 ... 計算公式如下： R = xmax- xmin ...