真空幫浦之原理與種類簡介
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動力學幫浦(kinetic vacuum pump):利用高速運動之蒸氣. 分子,經碰撞把動量給待抽氣體,並將待抽氣體排往較. 高壓力之區域。 Ex: 渦輪分子幫浦(turbo molecular ...
半導體真空幫浦轉子之設計與模型製作
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貯氣式泵浦近年來發. 展迅速,幾乎所有高真空及超高真空均採用此類泵浦,新式的種類頗多,. 現僅就常用者分為下列三類介紹:. A. 化學吸附泵浦:此類泵浦的作用原理係利用 ...
和裕科技真空幫浦真空泵原理和種類
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1.排氣式真空幫浦. (1).正位移式幫浦(positive displacement type) · 2.往復式真空幫浦. (1).迴轉式幫浦(rotary pump and scroll pump). (2).動能式幫浦(kinetic energy ...
真空幫浦原理是什麼?真空幫浦維修又要注意哪些事項(圖文)
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液封式真空幫浦是以液體當做活塞,葉輪轉動時,液體被拋向外圍形成移動的液封環,液封環內部中空,因為葉輪相對於機體是偏心運轉,因此葉輪轉動時,在吸入 ...
真空幫浦抽氣性能檢測技術於半導體及光電產業之應用
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真空幫浦依據抽氣原理之不同可分為排氣式與. 儲氣式兩類幫浦。而排氣式幫浦又可分為正排氣幫. 浦及動力式幫浦,其常用之分類如圖1 ...
真空機械幫浦原理解說及維修
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真空幫浦之操作原理是由機械式動作自真空腔室中抽氣,接著在幫. 浦中進行氣體傳輸、壓縮、排氣之行程,達到抽真空的效果。由抽. 氣機構中幫浦腔室中是否含有油脂等液體, ...
真空泵(真空幫浦)原理種類知多少?
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真空泵基本上可以分爲兩種類型:氣體傳輸泵和氣體捕集泵。 氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出,借以達到抽氣目的的真空泵。 氣體捕集泵是一種 ...
真空泵(真空幫浦)原理種類知多少?
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真空泵基本上可以分爲兩種類型:氣體傳輸泵和氣體捕集泵。 氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出,借以達到抽氣目的的真空泵。 氣體捕集 ...
真空泵浦Vacumm Pump介紹
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第一節真空幫浦
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真空幫浦的分類. 排氣式幫浦. 排氣式幫浦. 正位移式幫浦(positive displacement type). 往復式幫浦. 往復式幫浦. 迴轉式幫浦(rotary pump and scroll ...