真空腔 體 清洗
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CN105575767A
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常用的清洗方法是加热烘烤，如图1所示，即在真空系统外面加一个烘烤罩，烘烤罩通电加热真空腔室，同时真空机组对真空腔体进行抽真空。这种加热烘烤方式通常需要较高的温度 ...
TWI470692B
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為一種運用於半導體乾蝕刻機之反應腔體內的零組件清洗流程，其主要係利用IPA（異丙醇）擦拭表面配合純水沖洗、脫脂，再轉至無塵室空間進行多次的（熱）超純水沖洗、超音波 ...
台積魔鬼訓練下熬出頭的最強隊友
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雖然日揚從真空腔體、真空設備管路、真空閥、洗滌器等硬體均有製造實力， ... 寇崇善指出，該裝置最早是在面板廠進行驗證，將原本需要三個月清洗一次 ...
清洁
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大型腔室使用蒸汽或高压清洗器与特殊的清洗 剂进行清洗。然后，必须使用热的去离子水再次清洗数次， 最后在高温空气中进行快速干燥。 清洁后，真空侧表面 ...
用于pecvd镀硅或硅化物膜的真空腔体的清洗方法
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上述清洗方法首先采用物理方法清除腔体内的大部分SiN沉积层，它的原理是SiN在温度骤降下由于热胀冷缩效应会变脆，从腔体容器的表面及离子源电极的表面自动剥离脱落；清除 ...
真空材料的表面净化和抛光
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真空腔体通过抛光使表面更加平坦，可以大大减小表面积，从而减少表面吸附的气体 ... 真空材料表面净化的基本方法主要是有机溶剂清洗和超声波清洗。
真空等離子清洗機如何維護保養呢？
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首先使用脫脂棉布沾無水乙醇（俗稱酒精）擦拭（不要用乙醇擦拭反應腔體觀察玻璃）真空腔體。其次腔體導入氣體（氬氣+氧氣或氮氣+氧氣），用與等離子體反應 ...
真空腔体常用的清洗办法
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常用的的真空腔体清洗溶剂包括含洗涤剂的水、石油分馏物、稀酸、碱、有机溶剂、各种金属清洗剂等.根据外表附着物的不同,需要用不同的溶剂进行清洗.如锈蚀 ...
等离子清洗机真空腔体维护保养方法
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等离子清洗机真空腔体维护保养方法 · 1、 将设备电源开关关闭，断开总电源保护器。 · 2、 关闭所有气体。 · 3、 准备所需工具箱。 · 4、真空腔体及真空发生 ...
長信昇
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洗威™ 鋁合金有機聚合物清潔劑AHLR03 (別名：乾蝕刻真空腔體零件清洗劑) ... 洗威™ 可剝膠去除劑AHLR03-GU (別名： 保護膜去除劑、易撕膜清潔劑、UV固化膠清洗劑) ...