OK73 成分
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安全資料表
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化學品名稱:光阻稀釋劑(OK-73). 其他名稱:稀釋液(光刻顯像稀釋劑)、EBR7030、PP ... (成分百分比). 化學文摘社登記號碼. (CAS No.) 單甲基醚丙二醇. (PROPYLENE GLYCOL.
光阻稀釋劑
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光阻稀釋劑常見的為OK73 或EBR7030 等產品,其中主要成份分別為丙二醇單甲基醚(PGME)與丙二醇單甲基醚酯(PGMEA)這兩種化學物質。 什麼是EBR? EBR 全名為Edge Bead ...
台灣OK73專業供應商
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它是一種專為光阻工藝而設計的稀釋劑,其主要成分包括丙二醇單甲基醚(PGME)和丙二醇單甲基醚酯(PGMEA)。這兩種化學物質在光阻製程中具有重要的作用, ...
化学品中的vm(solvetn),ok73是指什么东西中文名叫什么?
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ok73我查到:光阻稀释剂(代号为OK-73,或者EBR-7030,或者PP-73),成分(CAS编号,英文名,质量百分比):丙二醇单甲醚(#107-98-2, propylene glycol monomethyl ...
丙二醇甲醚醋酸酯(Propylene glycol monome
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危害成分(成分百分比):100%. 四、急救措施. 不同暴露途徑之急救方法:. ․吸入:. 1. 若發生危害效應時,應將患者移到新鮮空氣處. 2. 若無呼吸,立即 ...
晶圆表面的清洗方法
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所述的OK73稀释剂为单乙基醚丙二醇和丙二醇单甲醚乙酸酯的混合物,其中单乙基醚丙二醇的质量百分比为70%,丙二醇单甲醚乙酸酯的质量百分比为30%。OK73稀释剂的用量在15ml ...
高科技產業高沸點製程廢氣調查技術研究
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至於在光阻塗佈製程(Coating prcess)中稀釋劑(Thinners)產品如. EBR-7030 或OK-73 所含主要成分,分別包括丙二醇單甲基醚(PGME). 與丙二醇單甲基醚酯(PGMEA)這兩種化學物質 ...