cd-sem半導體
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CD
https://www.hitachi-hightech.c
Introducing Metrology equipment (CD-SEM), Review SEM Defect Inspection equipment. ... This software improves the operating efficiency of your CD-SEM.
CN103591911B
https://patents.google.com
关键尺寸扫描电子显微镜（CDSEM）是一种在半导体制程中用于测量晶圆上图案的关键尺寸（CD）的仪器，其工作原理是：从电子枪照射出的电子束通过聚光透镜汇聚，穿过开 ...
Data Station for CD
https://www.hitachi-hightech.c
Introducing the data station that can create, edit and synchronize multiple length measuring SEM files among each other.
VeritySEM 10 關鍵尺寸(CD) 量測
https://www.appliedmaterials.c
在半導體元件圖案測量方面，CD-SEM (臨界線寬掃描式電子顯微鏡) 常被稱為是「晶圓廠的標準」，因為這套系統能產生最精準的次奈米測量值。在微影成像機（lithography ...
全球半導體市場最新發展趨勢
http://www.cs.nccu.edu.tw
CD-SEM的工作原理為何呢？ 首先電子束會使晶圓表面釋放出兩次電子或背向散射電子， 這些電子經由掃瞄式電子顯微鏡加以收集並用 ...
應用材料公司最新電子束量測系統提升高數值孔徑極紫外光微影 ...
https://www.cio.com.tw
為了捕捉高解析度影像，提供準確、次奈米級的量測，CD-SEM必須能精確地將狹窄的電子束投射到極薄光阻所佔據的微小區域。而在電子束能量與光阻相互作用之下 ...
捷測精密科技股份有限公司
https://jc-ptech.com
捷測精密科技股份有限公司於2015年成立，為半導體製造設備及零件的供應商，其主要提供半導體產業之客戶相關設備維護與支援等專業服務。特別是我們專精於CD-SEM的設備上 ...
檢測10奈米以下半導體CD
https://www.mem.com.tw
檢測10奈米以下半導體CD-SEM量測技術邁大步 多年來，業界一直使用微距量測掃描式電子顯微鏡(CD-SEM)來進行量測，此種顯微鏡會射出電子束，與要掃描的 ...
臨界尺寸量測方法最佳化之研究
https://ir.nctu.edu.tw
半導體製程中通常以掃瞄式電子顯. 微鏡(Scanning Electron Microscope, SEM)量測CD 值。 2.3.1 SEM 量測原理. 掃瞄式電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope, SEM)為一 ...