duv euv波長
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DUV和EUV光刻机的区别在哪？
https://m.zhitongcaijing.com
DUV和EUV光刻机的区别在哪？
http://www.ime.cas.cn
DUV和EUV最大的区别在光源方案。EUV的光源波长为13.5nm，但最先进DUV的光源波只有193nm，较长的波长使DUV无法实现更高的分辨 ...
EUV
https://zhuanlan.zhihu.com
EUV, DUV, XUV 有什么区别？对应的波长分别是多少？ · （1）它们的全称分别是. UV = ultraviolet. EUV = extremely ultraviolet · （2）它们对应的波长 ...
全球瘋搶EUV 曝光機！究竟是摩爾定律的救命曙光
https://www.charmingscitech.na
極紫外光（Extreme ultraviolet, EUV）是波長小於13.5 奈米的光，使用EUV 作為光源的曝光機，即為EUV 曝光機。由於造價昂貴、製程繁複、貨源稀少 ...
小辭典》什麼是DUV設備？
https://ec.ltn.com.tw
... DUV），波長可從365奈米縮減到193奈米；最新技術的極紫外光源（Extreme Ultraviolet；EUV），更將波長縮減至13.5奈米。 目前以DUV設備應用最廣、需求 ...
新一代製程的關鍵：13.5奈米的「極端」紫外光
https://case.ntu.edu.tw
新的光源不能只和下一個世代的製程相容，必須考慮未來十年、二十年的半導體製程。因此，半導體界決定一口氣從波長193奈米的「深度紫外光(Deep UV, DUV)」 ...
极紫外光刻
https://zh.wikipedia.org
极紫外光刻（英语：extreme ultraviolet lithography，台湾称为极紫外光微影，简称“EUV”或“EUVL”）又稱作超紫外線平版印刷術, 是一种使用極紫外光波長 ... DUV微影製程機台改 ...
極紫外光微影製程
https://zh.wikipedia.org
EUV微影製程選擇第二中作法,將光源波長降低13.5奈米來提升電路圖案解析度，由於EUV波長太短,非常容易被大氣吸收,因此此道製程需要在真空環境中完成。目前EUV微影製程機台由 ...
甚麼是深紫外光DUV
https://www.convergever.com
... （Ultraviolet或簡稱UV）/ 深紫外線DUV=== 紫外線（Ultraviolet或簡稱UV）是波長比可見光短，但比X射線長的電磁輻射，波長 ... EUV, 121 nm–10 nm ...