上海微電子28nm光刻機
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「國產光刻機第一股」上海微電子拚上市大陸自製EUV有望嗎？
https://money.udn.com
大陸唯一一家光刻機整機廠商上海微電子近期披露上市計畫進度，該公司目前已建立相對規範的公司治理結構和內部控制體系，顯示其股票上市再進一步，也讓 ...
上海微电子首台国产28nm光刻机有望年底交付，突破来了吗？
https://m.gelonghui.com
卡脖子问题正在被逐渐解决，国产光刻机产业正在突围8月2日，据《证券日报》消息称，上海微电子在28nm浸没式光刻机的研发上取得重大突破，预计在2023年年底向市场交付 ...
上海微電子裝備
https://zh.wikipedia.org
2018年，上海微電子裝備所能投產的曝光機製程為90nm，後於有傳聞更精良的28nm曝光機製程據聞將於2021年首季問世，但亦未確定28nm機型的量產能力，由於過去未如外國廠商集合 ...
不甩日半導出口禁令陸首台國產28nm浸潤式光刻機年底交付
https://www.chinatimes.com
報導指出，近日有消息稱，上海微電子正極力研發28奈米浸潤式DUV光刻機，預計在2023年底將國產第一台SSA/800-10W光刻機設備交付市場。而去年底官方公布華為 ...
中國28nm 光刻機年底交付望突破美日荷封鎖
https://unwire.hk
據台媒引述消息人士指，中國上海微電子正在研發28 nm 浸潤式DUV 光刻機，並預計在2023 年底將第一部中國製SSA/800-10W 光刻機設備交付市場。2022 年底華為 ...
中國首台「國產」28nm DUV曝光機就被爆料年底出貨
https://www.techbang.com
而就在相隔一個月，上海微電子就被爆料年底可交付28奈米DUV曝光機，這個時間點也相當微妙。 不過，曝光機只是整個半導體製造產業鏈中的一環，還涉及到光阻 ...