光阻塗佈機

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光阻塗佈是半導體製程中一個非常重要的步驟，我們經常要在晶圓上塗佈一層光阻劑，其厚度最薄可能是100奈米（1奈米=十億分之一米），最厚可能是50微米（1 ...

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底漆層蒸氣塗佈. 脫水烘烤. 晶圓. 預備處理反應室. 底漆層. 預烘烤及底漆層蒸氣塗佈. 晶圓. 加熱平板. 加熱平板. HMDS 蒸氣. 16. 光阻旋轉塗佈機. 真空. 光阻. EBR. 晶圓.

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光阻塗佈機(Photo Resist Spinner) · 1.廠牌型號: Synrex 擎邦1-PM101D-R790 · 2.購置年限: 1992年12月16日 · 3.放置地點: 固態電子系統大樓 1樓120實驗室 (TEL：55609).

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旋轉塗佈法(Spin Coating)是最廣為用來上光阻的方法，通常的做法是將定量的阻劑塗佈在晶圓中心，在藉由不同階段的轉速和時間控制，使阻劑均勻塗佈在晶圓 ...

https://www.mrnanotec.com.tw

本公司之各类涂布机适合不同需求之黄光制程包含：触控可程式光阻涂布机(桌上型)、两段式旋转涂布机(桌上型)、小型两段式旋转涂布机(桌上型)、桌上型伺服涂布机等专业涂布机 ...

https://web.tnu.edu.tw

本專題主要介紹光阻鍍膜機的製程與設備技術，並以濕蝕刻清洗機的製程. 為輔，目的視作去光阻用，首先介紹微影製程的流程，大致可以分為：（1）去. 水烘烤（2）塗 ...

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光阻塗佈機/Coater. SVS MSX-1000主要是用來作半導體黃光製程的光阻塗佈。Spin Coating是最廣為用來上光阻的方法，通常的做法是將定量的阻劑塗佈在晶圓中心，在藉由不同 ...

http://synrex.com

8吋基板光阻塗佈用. For 8in wafer PR coating. Page 20. 落地型單頭式塗佈機系列. FLOOR-STANDING SINGLE BOWL SPIN COATER SERIES. 285x305mm玻璃基板光阻塗佈用. For ...