旋轉塗佈 不均勻：COATING製程塗佈鍍膜不均勻?
COATING製程塗佈鍍膜不均勻?
![[問題] spin coater塗佈約20nm光阻的均勻性](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%5B%E5%95%8F%E9%A1%8C%5D+spin+coater%E5%A1%97%E4%BD%88%E7%B4%8420nm%E5%85%89%E9%98%BB%E7%9A%84%E5%9D%87%E5%8B%BB%E6%80%A7-+%E7%9C%8B%E6%9D%BFNEMS.png?apikey=viVnb6N20jclO8){kind=avatar}
[問題] spin coater塗佈約20nm光阻的均勻性
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想請教各位本身對這方面的知識不太足，網路上查到塗佈光阻的厚度很多事micro等級的厚度而老師要我們嘗試看看20nm的光阻厚度，推測可能因為光阻塗佈完 ...
塗佈機
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是旋轉數(RPM)及旋轉時間，轉數越快膜厚越薄，旋轉時間越長膜厚越薄，品質的好壞在膜厚度及膜厚均. 勻性(Uniformity)。 旋轉式塗佈不適用於有凹凸圖形的結構。 Page 7 ...
大面積基板塗佈製程解析
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定位點來決定，不像旋轉塗佈要用EBR裝. 置來洗邊。雖是如此，光阻在乾燥過. 程 ... 響塗佈厚度均勻性的重要. 因素。若Slit Die起始加速. 太快或停止減速太慢，都. 會 ...
旋轉塗佈光阻液厚度及均勻度實驗分析
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... 不會對旋轉塗佈薄膜的厚度及均勻度有所影響；光阻液的黏度與溶劑的揮發性都會影響到旋轉塗佈薄膜的厚度，黏度越大薄膜會越厚，揮發性越大薄膜會越厚；旋轉時間增加雖然 ...
旋轉塗佈技術簡介
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優點. - 操作簡單，產品成熟度高。 - 塗佈膜厚均勻性佳(± 3-5%)。 ○ 缺點. - 塗液使用率過低(~2%)，大部分於Spread Spin. 階段損耗。 - 旋轉速度在大尺寸基版有限制。
旋轉塗佈薄膜的流體力學與質量傳輸數值研究
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就旋塗. 過程的物理現象，本文結果顯示以牛頓流體進行旋塗所形成薄膜，除邊緣珠(edge bead)區域外其表面分佈均勻性高，流體黏度越小和基材轉速越快所形成的膜會越. 薄、且 ...
旋轉塗覆
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《旋轉塗覆》（英語：Spin coating）是一種高速成膜方法，可以得到均勻的薄膜，均勻性廣泛應用於半導體材料及化工材料等薄膜製備。它利用旋轉產生的離心力，將溶膠、 ...
製程中的『塗佈』術語集
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用塗料置換基材上的空氣時，在高速塗佈的過程中，置換跟不上速度，空氣殘留在塗膜中的塗佈缺陷。 ㄑ. 起邊, 塗佈面不均勻，塗佈寬度上邊緣部或兩邊的塗佈厚度較大的塗佈 ...