旋轉塗佈 不均勻：大面積基板塗佈製程解析
大面積基板塗佈製程解析
COATING製程塗佈鍍膜不均勻?
https://www.goodtechnology.com
塗佈液均勻塗佈於基材上而後經由乾燥應化過程中進行固體薄膜化技術。 旋轉塗佈機（spin coater）原理旋轉塗佈屬於濕式鍍膜，其基材（矽晶圓片或其他平滑物件）以真空接 ...
![[問題] spin coater塗佈約20nm光阻的均勻性](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%5B%E5%95%8F%E9%A1%8C%5D+spin+coater%E5%A1%97%E4%BD%88%E7%B4%8420nm%E5%85%89%E9%98%BB%E7%9A%84%E5%9D%87%E5%8B%BB%E6%80%A7-+%E7%9C%8B%E6%9D%BFNEMS.png?apikey=viVnb6N20jclO8){kind=avatar}
[問題] spin coater塗佈約20nm光阻的均勻性
https://www.ptt.cc
想請教各位本身對這方面的知識不太足，網路上查到塗佈光阻的厚度很多事micro等級的厚度而老師要我們嘗試看看20nm的光阻厚度，推測可能因為光阻塗佈完 ...
塗佈機
http://www.toptech.tw
是旋轉數(RPM)及旋轉時間，轉數越快膜厚越薄，旋轉時間越長膜厚越薄，品質的好壞在膜厚度及膜厚均. 勻性(Uniformity)。 旋轉式塗佈不適用於有凹凸圖形的結構。 Page 7 ...
旋轉塗佈光阻液厚度及均勻度實驗分析
https://ndltd.ncl.edu.tw
... 不會對旋轉塗佈薄膜的厚度及均勻度有所影響；光阻液的黏度與溶劑的揮發性都會影響到旋轉塗佈薄膜的厚度，黏度越大薄膜會越厚，揮發性越大薄膜會越厚；旋轉時間增加雖然 ...
旋轉塗佈技術簡介
http://synrex.com
優點. - 操作簡單，產品成熟度高。 - 塗佈膜厚均勻性佳(± 3-5%)。 ○ 缺點. - 塗液使用率過低(~2%)，大部分於Spread Spin. 階段損耗。 - 旋轉速度在大尺寸基版有限制。
旋轉塗佈薄膜的流體力學與質量傳輸數值研究
https://tdr.lib.ntu.edu.tw
就旋塗. 過程的物理現象，本文結果顯示以牛頓流體進行旋塗所形成薄膜，除邊緣珠(edge bead)區域外其表面分佈均勻性高，流體黏度越小和基材轉速越快所形成的膜會越. 薄、且 ...
旋轉塗覆
https://zh.wikipedia.org
《旋轉塗覆》（英語：Spin coating）是一種高速成膜方法，可以得到均勻的薄膜，均勻性廣泛應用於半導體材料及化工材料等薄膜製備。它利用旋轉產生的離心力，將溶膠、 ...
製程中的『塗佈』術語集
https://www.keyence.com.tw
用塗料置換基材上的空氣時，在高速塗佈的過程中，置換跟不上速度，空氣殘留在塗膜中的塗佈缺陷。 ㄑ. 起邊, 塗佈面不均勻，塗佈寬度上邊緣部或兩邊的塗佈厚度較大的塗佈 ...