local scrubber種類：竹科半導體廠廠務端local scrubber的疑問???
竹科半導體廠廠務端local scrubber的疑問???
IPI Local Scrubber 臺禹旭禹製程廢氣處理設備
https://www.ipi-tbc.com.tw
根據需要處理氣體種類的不同,溼式洗滌系統可使用酸性或鹼性中和劑.洗滌塔配備高效率的逆流噴嘴,為高流量廢氣的應用提供很高的可靠性.溼式洗滌系統提供了多達 ...
Local Scrubber 濕式洗滌設備
https://www.htcvacuum.com
Local Scrubber 濕式洗滌設備 · 1. 在晶圓廠和光電廠己證實能高效處理PM 2.5之微粒子，微粒子捕捉效率>90%，傳統灑水式<10% · 2. 吸入口負壓值高(-11~-13Kpa)，水氣混合效率 ...
Local Scrubber 濕式洗滌設備
https://www.htcvacuum.com
Local Scrubber 濕式洗滌設備-吸附式尾氣處理設備 · 1. 在晶圓廠和光電廠己證實能高效處理PM 2.5之微粒子，微粒子捕捉效率>90%，傳統灑水式<10% · 2. 吸入口負壓值高(-11~- ...
乾式廢酸性氣體處理設備(Local Dry Scrubber)
https://www.rongtay.com
Local Dry Scrubber 係安裝於半導體與TFT-LCD蝕刻製程設備後端，將蝕刻製程所產生的廢酸性氣體，完全處理到FTIR所能偵測下限以下。處理氣體種類 ...
專為高科技產業所提供的廢氣處理系統
https://www.das-ee.com
達思DAS Environmental Expert的廢氣處理設備(DAS local scrubbers) 能處理可冷凝、可燃燒、具腐蝕性、易起反應、有毒和易自燃的氣體(例如: 矽烷、有機矽烷、松油醇、氫、 ...
晶圓製程機台裝設燃燒水洗式尾氣處理設備專案計畫書
https://ghgregistry.moenv.gov.
... (Local Scrubber, LS)，直接破壞製程. 機台產生之含氟氣體尾氣，避免直接排放至大氣 ... 數據選擇或量測方. 法和程序. 依製程使用之溫室氣體種類選擇對應之全球暖化潛勢。
燃烧式Scrubber特气尾气处理装置
http://www.szwofei.com
可处理气体种类包括半导体、液晶以及太阳能等行业中蚀刻制程与化学气相沉积制程中使用的特气，主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3 ...
第三章製程尾氣處理研究實驗設備
https://ir.lib.nycu.edu.tw
台灣所使用之Local Scrubber 約有十幾種廠牌型號，而依其原理大概可. 分電熱水洗式、燃燒式、填充水洗式、乾式吸附式..等，端視使用者的需求而.