local scrubber種類：燃烧式Scrubber特气尾气处理装置
燃烧式Scrubber特气尾气处理装置
IPI Local Scrubber 臺禹旭禹製程廢氣處理設備
https://www.ipi-tbc.com.tw
根據需要處理氣體種類的不同,溼式洗滌系統可使用酸性或鹼性中和劑.洗滌塔配備高效率的逆流噴嘴,為高流量廢氣的應用提供很高的可靠性.溼式洗滌系統提供了多達 ...
Local Scrubber 濕式洗滌設備
https://www.htcvacuum.com
Local Scrubber 濕式洗滌設備 · 1. 在晶圓廠和光電廠己證實能高效處理PM 2.5之微粒子，微粒子捕捉效率>90%，傳統灑水式<10% · 2. 吸入口負壓值高(-11~-13Kpa)，水氣混合效率 ...
Local Scrubber 濕式洗滌設備
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Local Scrubber 濕式洗滌設備-吸附式尾氣處理設備 · 1. 在晶圓廠和光電廠己證實能高效處理PM 2.5之微粒子，微粒子捕捉效率>90%，傳統灑水式<10% · 2. 吸入口負壓值高(-11~- ...
乾式廢酸性氣體處理設備(Local Dry Scrubber)
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Local Dry Scrubber 係安裝於半導體與TFT-LCD蝕刻製程設備後端，將蝕刻製程所產生的廢酸性氣體，完全處理到FTIR所能偵測下限以下。處理氣體種類 ...
專為高科技產業所提供的廢氣處理系統
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達思DAS Environmental Expert的廢氣處理設備(DAS local scrubbers) 能處理可冷凝、可燃燒、具腐蝕性、易起反應、有毒和易自燃的氣體(例如: 矽烷、有機矽烷、松油醇、氫、 ...
晶圓製程機台裝設燃燒水洗式尾氣處理設備專案計畫書
https://ghgregistry.moenv.gov.
... (Local Scrubber, LS)，直接破壞製程. 機台產生之含氟氣體尾氣，避免直接排放至大氣 ... 數據選擇或量測方. 法和程序. 依製程使用之溫室氣體種類選擇對應之全球暖化潛勢。
竹科半導體廠廠務端local scrubber的疑問???
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local scrubber 種類有吸附式.電熱式.水塔式.還有燃燒式.其實都會對應樓上主機台來找出最適合的. 原理其實都不難. 實際保養要注意與樓上機台的溝通及 ...
第三章製程尾氣處理研究實驗設備
https://ir.lib.nycu.edu.tw
台灣所使用之Local Scrubber 約有十幾種廠牌型號，而依其原理大概可. 分電熱水洗式、燃燒式、填充水洗式、乾式吸附式..等，端視使用者的需求而.