黃光製程英文:微影
微影
黃光微影(Photolithography)
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將光罩上的圖形縮小之後轉移到矽晶圓上稱為「圖形轉移(Pattern transfer)」,所使用的方法稱為「黃光微影(Photolithography)」,其步驟與光罩的製作很類似, ...
工作EP4
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... (製程)的前/中/後段製程那是它的簡稱至於前中後的準則,就要依據各製程/公司的定義去做區分之前提到半導體的四大製程:黃光(LT)薄膜(TF)擴散(DF)蝕刻(ET) 在影片下方 ...
黃光製程
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黃光製程. Chinese to English Tech/Engineering Telecom(munications) nano manufacturing technology. manufacturing of single electron transistor.
黄光制程简介
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Process condition depends on which layer : Substrate condition,CD,Topology,OL target,Etch target etc. • Key process factor : Tpr(A),Use BARC or not,SB,TARC ...
電子廠常用的英文單字...
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Photolithography&patterning【光蝕刻微影技術與成形】: 光微影製程, 必須在黃光室進行, 所以業界所謂的黃光工程師, 就是負責光微影製程的人員。
半導體產業及製程
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IC process 基本製程. 黃光. 薄膜. 蝕刻. 植入. 光阻去除. 流程. 說明. 圖釋. 薄膜(Thin_film). 1.化學氣相沉積(CVD). 2.金屬濺鍍(PVD). 3.擴散(Diffusion). 黃光(PHOTO).
Ch 6
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光阻. 微影製程(Lithography). 基片(Substrate). 基片. 光阻. (PR, Photoresist). 光阻塗佈. Coating. ▫. 暫時在晶圓上塗佈. 光阻劑. ▫. 將設計圖案轉移至. 光阻劑. ▫.
工作EP4
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... (製程)的前/中/後段製程那是它的簡稱至於前中後的準則,就要依據各製程/公司的定義去做區分之前提到半導體的四大製程:黃光(LT)薄膜(TF)擴散(DF)蝕刻(ET) 在影片下方 ...
電子學位論文服務
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半導體黃光製程覆蓋誤差改善. 論文名稱(英文), Overlay Error Improve of Semiconductor Photolithography Process. 第三語言論文名稱. 校院名稱, 淡江大學. 系所名稱(中文) ...