曝光機：Manual Mask Aligner
Manual Mask Aligner
UV曝光機光學
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曝光機是製造微機電、光電、二極體大規模積體電路的關鍵影像轉移設備，原理是利用紫外線通過光罩、底片等圖案模版，並搭配顯影劑使用，去除晶圓表面的光阻，以形成積體電路圖案 ...
![[內外層共用][自動]平行光曝光機](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%5B%E5%85%A7%E5%A4%96%E5%B1%A4%E5%85%B1%E7%94%A8%5D%5B%E8%87%AA%E5%8B%95%5D%E5%B9%B3%E8%A1%8C%E5%85%89%E6%9B%9D%E5%85%89%E6%A9%9F.png?apikey=viVnb6N20jclO8){kind=avatar}
[內外層共用][自動]平行光曝光機
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產品詢問 · 內/外層共用雙面曝光 · 底片自動對位可選擇單/多片對位 · 曝光室Class1000無塵等級 · 曝光室獨特環境控制系統，有效增加AW穩動度 · 入料模組採用SUS304表面研磨 ...
全球瘋搶EUV 曝光機！究竟是摩爾定律的救命曙光
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極紫外光（Extreme ultraviolet, EUV）是波長小於13.5 奈米的光，使用EUV 作為光源的曝光機，即為EUV 曝光機。由於造價昂貴、製程繁複、貨源稀少，關鍵技術由 ...
半導體解密：ASML曝光機憑什麼能一廠獨大？台積電總能買 ...
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曝光機的原理其實像幻燈機一樣簡單，就是把光透過帶電路圖的掩膜（Mask，後來也叫光罩）投影到塗有光敏膠的晶圓上。早期60年代的光刻掩膜版以1：1的尺寸緊貼在 ...
曝光機
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曝光機（英語：Aligner），是積體電路製造的關鍵裝置。從發展歷史來看一共五種機型，分別為接觸式（contact），接近式（proximity），步進式（stepper），掃描式（scanner），重複 ...
自動光罩對準曝光機
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SUSS MicroTec光罩對準曝光機，已成為品質優異、對準精度高和複雜曝光光學器件的代名詞。SUSS MicroTec為高端晶圓廠自動化、量產和研發環境提供系列光罩對準曝光機。
自動曝光機
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