半導體cd意思：半导体中CD是什么意思

critical dimension是什么意思

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Critical Dimension（CD）是指在半导体工艺中，定义芯片上最小可控制尺寸的一个参数。它通常表示为纳米级别的数值，是衡量芯片制造工艺精度和性能的关键指标之一。

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關鍵尺寸(Critical Dimension，簡稱CD)是指在集成電路光掩模製造及光刻工藝中為評估及控制工藝的圖形處理精度，特設計一種反映集成電路特徵線條寬度的專用線條圖形。 於 ...

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半導體＆ ETCH 知識，你能答對幾個？

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何謂AEI CD? 答：蝕刻後特定圖形尺寸之大小,特徵尺寸(Critical Dimension). 何謂CD bias?

工學院碩士在職專班精密與自動化工程組碩士論文

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對於DRAM半導體的溝槽式製程而言，DTPHMO蝕刻製程技術是決定深溝孔徑的. CD是否能維持在適當的製程規格內最重要的關鍵製程之一，而微影製程的穩定性與蝕刻. 製程的穩定控制 ...

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關鍵尺寸(Critical Dimension，簡稱CD)是指在積體電路光掩模製造及光刻工藝中為評估及控制工藝的圖形處理精度，特設計一種反映積體電路特徵線條寬度的專用線條圖形。 於www ...

臨界尺寸量測方法最佳化之研究

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關鍵尺寸

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關鍵尺寸(Critical Dimension，簡稱CD)是指在集成電路光掩模製造及光刻工藝中為評估及控制工藝的圖形處理精度，特設計一種反映集成電路特徵線條寬度的專用線條圖形。