均勻度u算法：什么是片内&片间均匀性？
第一章緒論
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量測的方法為在晶圓上分九個區域，量九點，. 取其平均值當作厚度指標，均勻度index(U)的算法如下。 o. A. 160. ± o o. A.
CN101930938A
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本发明公开了一种监测膜厚均匀性的方法，包括如下步骤：第1步，在一个硅片的薄膜上，取硅片中心位置的一个或多个测量点测量膜厚，取硅片边缘位置的一个或多个测量点 ...
均勻度指數
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均勻度是計算某一地區內不同物種之相對數量的指數。我們可以查看在豐富度指數單元中曾解釋過的例子：. 圖A和圖B擁有相同的豐富度指數 ...
【Excel教學】均勻性計算彙整
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均勻性公式. 常使用的均勻性公式為以下：. 所以以上方表格做計算的公式則為：「=1-((MAX(B3:H8)-MIN(B3:H8))/(2*AVERAGE(B3:H8)))」，結果為91.1%。 均勻性標準. 一般 ...
濺鍍製程薄膜均勻性的研究
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從本文中可看出,以光譜強度的比值當. 作靶材的濺鍍速率,使用餘弦定律計算基板上. 的薄膜厚度分佈,其結果比較實驗結果,顯示. 良好一致性,具有即時監控薄膜均勻性的功. 能,也 ...
測量與不確定度
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步驟. 2. 求出不確定度u X . 將u X s n. 的計算結果，以無條件進位法，. 至多保留2 位有效數字，即為不確定度。 步驟. 3. 求出最佳估計值X. 將x 的計算結果，以 ...
工學院精密與自動化工程學程
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而現行產品膜厚均勻度(Thickness Uniformity). 要求規格需小於2%。 膜厚均勻度(Thickness Uniformity)公式為：. [(Max-Min)/(2*AVG)]*100% < 2 %. 即[(最大膜厚-最小膜厚)/( ...