旋轉塗 佈 不均勻：COATING製程塗佈鍍膜不均勻?
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[問題] spin coater塗佈約20nm光阻的均勻性
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想請教各位本身對這方面的知識不太足，網路上查到塗佈光阻的厚度很多事micro等級的厚度而老師要我們嘗試看看20nm的光阻厚度，推測可能因為光阻塗佈完的 ...
塗佈機
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是旋轉數(RPM)及旋轉時間，轉數越快膜厚越薄，旋轉時間越長膜厚越薄，品質的好壞在膜厚度及膜厚均. 勻性(Uniformity)。 旋轉式塗佈不適用於有凹凸圖形的結構。 Page 7 ...
大面積基板塗佈製程解析
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旋轉塗佈是流體離心力與黏滯力 平衡的結果，光阻在基板上的厚度依黏 度、轉速及旋轉時間而定。
旋轉塗佈光阻液厚度及均勻度實驗分析
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... 不會對旋轉塗佈薄膜的厚度及均勻度有所影響；光阻液的黏度與溶劑的揮發性都會影響到旋轉塗佈薄膜的厚度，黏度越大薄膜會越厚，揮發性越大薄膜會越厚；旋轉時間增加雖然 ...
旋轉塗佈技術簡介
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旋轉塗佈為利用轉盤高速旋轉離心力，將基材上的塗 料進行厚度均勻化的製程。 - 操作簡單，產品成熟度高。 - 塗佈膜厚均勻性佳(± 3-5%)。 - 塗液使用率過低(~2%)，大部分於 ...
旋轉塗佈精準定量注料解決方案
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旋轉塗佈的優點是塗佈膜厚的均勻度佳，且操作簡單；但缺點是塗液在旋轉過程中的損耗大，塗料使用率過低。旋轉塗佈時影響塗料的參數很多，包括塗料黏度、溶劑揮發速度、表面張力 ...
旋轉塗佈薄膜的流體力學與質量傳輸數值研究
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就旋塗 過程的物理現象，本文結果顯示以牛頓流體進行旋塗所形成薄膜，除邊緣珠(edge bead)區域外其表面分佈均勻性高，流體黏度越小和基材轉速越快所形成的膜會越 薄、且降 ...
旋轉塗覆
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《旋轉塗覆》（英語：Spin coating）是一種高速成膜方法，可以得到均勻的薄膜，均勻性廣泛應用於半導體材料及化工材料等薄膜製備。它利用旋轉產生的離心力，將溶膠、溶液或懸 ...