均勻度計算：化學機械研磨製程對晶圓不均勻度之影響最佳化分析
化學機械研磨製程對晶圓不均勻度之影響最佳化分析
CN101930938A
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本发明公开了一种监测膜厚均匀性的方法，包括如下步骤：第1步，在一个硅片的薄膜上，取硅片中心位置的一个或多个测量点测量膜厚，取硅片边缘位置的一个或多个测量点测量膜厚 ...
【Excel教學】均勻性計算彙整
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均勻性公式 常使用的均勻性公式為以下： 所以以上方表格做計算的公式則為：「=1-((MAX(B3:H8)-MIN(B3:H8))/(2*AVERAGE(B3:H8)))」，結果為91.1%。
什么是片内&片间均匀性？
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片间均匀性指的是在一个批次内，不同晶圆之间的指标差异的一致性。片间uniformity的计算通常需要同一批次中多片晶圆的某个指标的所有测量值。
什么是片内&片间均匀性？ 转载
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片间uniformity的计算通常需要同一批次中多片晶圆的某个指标的所有测量值。 首先，为每片晶圆计算平均值。 之后在所有晶圆的平均值中，找到最大的平均值 ...
均勻度指數
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均勻度是計算某一地區內不同物種之相對數量的指數。我們可以查看在豐富度指數單元中曾解釋過的例子：. 圖A和圖B擁有相同的豐富度指數 ...
平面顯示器均勻度的快速量測系統方案
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在目前市面上最常用來量測顯示器均勻度的設備就是運用XY table 定位平台搭配量測儀器來進 行量測，透過機械式的量測平台將儀器移動到正確的量測角度(量測點)，這樣的量測 ...
照度均匀度
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照度均匀度=最小照度值/平均照度值. 最小照度值是按照逐点计算法算出来。 公式：U0=Emin/Eav. U1=Emin/Emax. U2=1-((Emax-min)/Eav). 计算方法. ·逐点计算法. ·点光源平方 ...
第一章緒論
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量測的方法為在晶圓上分九個區域，量九點， 取其平均值當作厚度指標，均勻度index(U)的算法如下。 其中M 為此量測九點的平均值，SD 為此九點的標準差。
說說溫度均勻度
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高低溫試驗箱的溫度均勻度和干燥箱的溫度均勻度，有很大的區別。高低溫試驗 ... 均勻度計算方法基本一致。 2、干燥箱的溫度均勻度是有±號的，與試驗箱的計算方法 ...