半導體量測技術:第三章元件製程與量測方法
第三章元件製程與量測方法
![先進半導體製程量測技術提升晶片良率的幕後功臣](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E5%85%88%E9%80%B2%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E9%AB%94%E8%A3%BD%E7%A8%8B%E9%87%8F%E6%B8%AC%E6%8A%80%E8%A1%93%E6%8F%90%E5%8D%87%E6%99%B6%E7%89%87%E8%89%AF%E7%8E%87%E7%9A%84%E5%B9%95%E5%BE%8C%E5%8A%9F%E8%87%A3.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
先進半導體製程量測技術提升晶片良率的幕後功臣
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工研院量測技術發展中心正研究員顧逸霞,突破傳統奈米量測的方式,研發出世界領先的In-chip微影製程疊對量測專利,以32奈米製程而言,在2009年時量測精準度就可達0.57奈米 ...
![先進製造與量測技術專輯主編前言](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E5%85%88%E9%80%B2%E8%A3%BD%E9%80%A0%E8%88%87%E9%87%8F%E6%B8%AC%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%B0%88%E8%BC%AF%E4%B8%BB%E7%B7%A8%E5%89%8D%E8%A8%80+-+%E6%A9%9F%E6%A2%B0%E5%B7%A5%E6%A5%AD%E7%B6%B2.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
先進製造與量測技術專輯主編前言
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量測技術之應用如下,「電漿離子能量分佈量測技術」一文,現代半導體元件製造過程中,舉凡電漿蝕刻、電漿輔助化學氣相沉積(PECVD)、物理氣相沉積(PVD) ...
![半導體2奈米GAA製程前段X光量測技術](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E9%AB%942%E5%A5%88%E7%B1%B3GAA%E8%A3%BD%E7%A8%8B%E5%89%8D%E6%AE%B5X%E5%85%89%E9%87%8F%E6%B8%AC%E6%8A%80%E8%A1%93+-+%E5%B7%A5%E6%A5%AD%E6%8A%80%E8%A1%93%E7%A0%94%E7%A9%B6%E9%99%A2.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
半導體2奈米GAA製程前段X光量測技術
https://www.itri.org.tw
工研院發展新一代「X 光量測技術」,以滿足環繞式閘極(Gate All-Around;GAA)先進製程之CD 量測。 應用與效益. 由於X 光可解析2 奈米製程多層GAA 結構尺寸,並可穿透GAA ...
![半導體檢測與量測設備之先進運動控制與定位技術101](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E9%AB%94%E6%AA%A2%E6%B8%AC%E8%88%87%E9%87%8F%E6%B8%AC%E8%A8%AD%E5%82%99%E4%B9%8B%E5%85%88%E9%80%B2%E9%81%8B%E5%8B%95%E6%8E%A7%E5%88%B6%E8%88%87%E5%AE%9A%E4%BD%8D%E6%8A%80%E8%A1%93101+-+YouTube.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
半導體檢測與量測設備之先進運動控制與定位技術101
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![半導體製程虛擬量測技術之研究](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E9%AB%94%E8%A3%BD%E7%A8%8B%E8%99%9B%E6%93%AC%E9%87%8F%E6%B8%AC%E6%8A%80%E8%A1%93%E4%B9%8B%E7%A0%94%E7%A9%B6__%E8%87%BA%E7%81%A3%E5%8D%9A%E7%A2%A9%E5%A3%AB%E8%AB%96%E6%96%87%E7%9F%A5%E8%AD%98%E5%8A%A0%E5%80%BC%E7%B3%BB%E7%B5%B1.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
半導體製程虛擬量測技術之研究
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而虛擬量測的概念便是以網路式預兆偵測之技術,結合先進半導體技術,來達成品質預測之目標。本篇論文以半導體技術結合虛擬量測的概念,利用小波分解來濾除干擾雜訊, ...
![晶圓量測與製程控制技術夯先進製程良率再添進程](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E6%99%B6%E5%9C%93%E9%87%8F%E6%B8%AC%E8%88%87%E8%A3%BD%E7%A8%8B%E6%8E%A7%E5%88%B6%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%A4%AF%E5%85%88%E9%80%B2%E8%A3%BD%E7%A8%8B%E8%89%AF%E7%8E%87%E5%86%8D%E6%B7%BB%E9%80%B2%E7%A8%8B+-+SEMI.org.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
晶圓量測與製程控制技術夯先進製程良率再添進程
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先進製程的電晶體線寬越來越細,且電晶體結構迅速從 2D 轉向 3D,使得半導體製造商要對電晶體結構、尺寸、薄膜厚度等關鍵參數進行量測,變得越來越 ...
![量測與檢驗](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E9%87%8F%E6%B8%AC%E8%88%87%E6%AA%A2%E9%A9%97-+%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E9%AB%94+-+Applied+Materials.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
量測與檢驗
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量測與檢驗. 除了度量和晶圆检测,芯片制造商还要依靠缺陷检查、分析和归类等技术,监控制造工序各步的完成质量。度量程序用于验证在制造工序的每一步,所制造的器件在 ...
![量測資訊第194期:尖端半導體量測技術](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E9%87%8F%E6%B8%AC%E8%B3%87%E8%A8%8A%E7%AC%AC194%E6%9C%9F%EF%BC%9A%E5%B0%96%E7%AB%AF%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E9%AB%94%E9%87%8F%E6%B8%AC%E6%8A%80%E8%A1%93.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
量測資訊第194期:尖端半導體量測技術
https://www.nml.org.tw
專輯在“半導體製程疊對偏差及關鍵尺寸光學量測技術”一文中,將介紹疊對偏差技術,因不需將其疊對圖樣置於影像視野正中央,亦可計算疊對誤差,可大幅減少計算時間,且 ...