半導體量測技術
「半導體量測技術」熱門搜尋資訊
「半導體量測技術」文章包含有：「先進半導體製程量測技術提升晶片良率的幕後功臣」、「先進製造與量測技術專輯主編前言」、「半導體2奈米GAA製程前段X光量測技術」、「半導體檢測與量測設備之先進運動控制與定位技術101」、「半導體製程虛擬量測技術之研究」、「晶圓量測與製程控制技術夯先進製程良率再添進程」、「第三章元件製程與量測方法」、「量測與檢驗」、「量測資訊第194期：尖端半導體量測技術」
查看更多
先進半導體製程量測技術提升晶片良率的幕後功臣
https://www.itri.org.tw
工研院量測技術發展中心正研究員顧逸霞，突破傳統奈米量測的方式，研發出世界領先的In-chip微影製程疊對量測專利，以32奈米製程而言，在2009年時量測精準度就可達0.57奈米 ...
先進製造與量測技術專輯主編前言
https://www.automan.tw
量測技術之應用如下，「電漿離子能量分佈量測技術」一文，現代半導體元件製造過程中，舉凡電漿蝕刻、電漿輔助化學氣相沉積（PECVD）、物理氣相沉積（PVD） ...
半導體2奈米GAA製程前段X光量測技術
https://www.itri.org.tw
工研院發展新一代「X 光量測技術」，以滿足環繞式閘極（Gate All-Around；GAA）先進製程之CD 量測。 應用與效益. 由於X 光可解析2 奈米製程多層GAA 結構尺寸，並可穿透GAA ...
半導體檢測與量測設備之先進運動控制與定位技術101
https://www.youtube.com
半導體製程虛擬量測技術之研究
https://ndltd.ncl.edu.tw
而虛擬量測的概念便是以網路式預兆偵測之技術，結合先進半導體技術，來達成品質預測之目標。本篇論文以半導體技術結合虛擬量測的概念，利用小波分解來濾除干擾雜訊， ...
晶圓量測與製程控制技術夯先進製程良率再添進程
https://www.semi.org
先進製程的電晶體線寬越來越細，且電晶體結構迅速從 2D 轉向 3D，使得半導體製造商要對電晶體結構、尺寸、薄膜厚度等關鍵參數進行量測，變得越來越 ...
第三章元件製程與量測方法
https://ir.nctu.edu.tw
第三章元件製程與量測方法. 製程中使用四道光罩，分別為(1)平臺隔離(mesa isolation)；(2)歐姆接觸. (ohmic contact) (3)閘級製作(gate contact);(4)鈍化 ...
量測與檢驗
https://www.appliedmaterials.c
量測與檢驗. 除了度量和晶圆检测，芯片制造商还要依靠缺陷检查、分析和归类等技术，监控制造工序各步的完成质量。度量程序用于验证在制造工序的每一步，所制造的器件在 ...
量測資訊第194期：尖端半導體量測技術
https://www.nml.org.tw
專輯在“半導體製程疊對偏差及關鍵尺寸光學量測技術”一文中，將介紹疊對偏差技術，因不需將其疊對圖樣置於影像視野正中央，亦可計算疊對誤差，可大幅減少計算時間，且 ...