旋轉塗佈機操作:Spin
Spin
Spin Coater 使用操作說明
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Spin Coater 使用操作說明: 1.本機共分2 個TIMER 控制時間 a. 第1 個STEP 1 旋轉時間 b. 第2 個STEP 2 旋轉時間(開機前請將時間設定好). 2.首先開啟電源開關(POWER).
旋轉塗佈技術簡介
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優點. - 操作簡單,產品成熟度高。 - 塗佈膜厚均勻性佳(± 3-5%)。 ○ 缺點. - 塗液使用率過低(~2%),大部分於Spread Spin. 階段損耗。 - 旋轉速度在大尺寸基版有限制。
旋轉塗佈機II 操作使用手冊
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旋轉塗佈機II 操作使用手冊. 功能:利用離心力將光阻均勻塗佈到試片。 使用範圍:可使真空吸盤吸住的各式平坦試片,試片不得小於旋轉吸盤。 使用電源:110V 60HZ.
旋轉塗佈機操作使用手冊
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旋轉塗佈機操作使用手冊. 功能:用於一般濕式成膜或脫水。 使用範圍:可使真空吸盤吸住的各式平坦試片,試片不得小於旋轉吸盤。 名詞定義:rpm:每分鐘所轉的圈數.
旋轉塗佈機的概要
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「旋轉塗佈機」是利用旋轉離心力的塗佈裝置,也稱為「旋塗機」。它可以在平滑的被塗佈物體(工件)上獲得薄而均勻的塗膜。典型用途十分廣泛,包括從以半導體晶圓的表面 ...
桌上型旋轉塗佈機Spin coater
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Spin Coater - 桌上型旋轉塗佈機 ; 基材固定方式, 不銹鋼真空吸盤 ; 操作程序, 兩段式轉速控制 ; 操作腔體, 不鏽鋼,內徑26cm 直徑 ; 轉速, 200-8000rpm ; 電源, 110V, 10A.
程控5 組5 段旋轉塗佈機ASC
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第一章緒論
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旋轉塗佈機Spin coater. 將基板使用抽真空方式吸住後,將欲進行旋轉塗佈成膜之液體完整塗佈於基板上,使基. 板旋轉利用離心力可甩出多餘液體並成一薄膜,藉由控制轉速 ...