旋轉塗佈機操作：桌上型旋轉塗佈機Spin coater

Spin Coater 使用操作說明

https://lcmfal.iams.sinica.edu

Spin Coater 使用操作說明: 1.本機共分2 個TIMER 控制時間 a. 第1 個STEP 1 旋轉時間 b. 第2 個STEP 2 旋轉時間(開機前請將時間設定好). 2.首先開啟電源開關(POWER).

Spin

http://www2.nkfust.edu.tw

微系統製造實驗室─光阻塗佈機操作手冊. Spin-Coater 操作說明書. 1. 機台說明. 1.1 機台外觀及週邊. 真空幫浦. 光阻塗佈機. 高壓空氣閥. 光阻塗布機及真空幫浦插座.

旋轉塗佈技術簡介

http://synrex.com

優點. - 操作簡單，產品成熟度高。 - 塗佈膜厚均勻性佳(± 3-5%)。 ○ 缺點. - 塗液使用率過低(~2%)，大部分於Spread Spin. 階段損耗。 - 旋轉速度在大尺寸基版有限制。

旋轉塗佈機II 操作使用手冊

https://cmnst-cfc.ncku.edu.tw

旋轉塗佈機II 操作使用手冊. 功能：利用離心力將光阻均勻塗佈到試片。 使用範圍：可使真空吸盤吸住的各式平坦試片，試片不得小於旋轉吸盤。 使用電源：110V 60HZ.

旋轉塗佈機操作使用手冊

https://ind.ntou.edu.tw

旋轉塗佈機操作使用手冊. 功能：用於一般濕式成膜或脫水。 使用範圍：可使真空吸盤吸住的各式平坦試片，試片不得小於旋轉吸盤。 名詞定義：rpm：每分鐘所轉的圈數.

旋轉塗佈機的概要

https://www.keyence.com.tw

「旋轉塗佈機」是利用旋轉離心力的塗佈裝置，也稱為「旋塗機」。它可以在平滑的被塗佈物體（工件）上獲得薄而均勻的塗膜。典型用途十分廣泛，包括從以半導體晶圓的表面 ...

程控5 組5 段旋轉塗佈機ASC

http://mx.nthu.edu.tw

第一章緒論

https://ir.nctu.edu.tw

旋轉塗佈機Spin coater. 將基板使用抽真空方式吸住後，將欲進行旋轉塗佈成膜之液體完整塗佈於基板上，使基. 板旋轉利用離心力可甩出多餘液體並成一薄膜，藉由控制轉速 ...