euv原理:全球瘋搶EUV 曝光機!究竟是摩爾定律的救命曙光
全球瘋搶EUV 曝光機!究竟是摩爾定律的救命曙光
EUV是個什麼酷東西? — 決定未來半導體先進製程的關鍵技術
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EUV,全名為Extreme Ultraviolet,中文叫做「極紫外光」,是一種波長極短的紫外光,一般生活中要塗乳液防曬的紫外線波長約在100~400奈米,而極紫外光才 ...
半導體產業不可或缺的曝光機,是「這些企業」的心血結晶!
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從原理上看,曝光機的工作原理,就是讓光穿過光掩模,然後通過一系列透鏡將其縮小,最終落在覆蓋有曝光膠的基板上。由於光掩模,曝光膠的某些部分被光照射 ...
挽救摩爾定律:ASML 極紫外光(EUV)微影技術量產的開發歷程
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EUV 光的產生是用二氧化碳雷射每秒5 萬次去轟擊液態錫滴。出來的EUV 光通過一個直徑為0.65 公尺的橢球反光鏡送進微影機台裡頭。錫滴位於橢球反光 ...
摩爾定律的華麗謝幕:EUV微影機
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極紫外光EUV微影是什麼?影片直擊台積電拚5奈米的關鍵 ...
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什麼是極紫外光(EUV)微影技術?關心台積電為何能連續多年業績創高,此關鍵技術絕對不能忽視,半導體設備巨頭ASML用視覺影像讓你知道EUV怎麼運作的。
極紫外光微影製程
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EUV光罩與傳統光罩也截然不同,具複合多塗層反射鏡(分散式布拉格反射器)的光罩可將電路圖案反射到晶圓上。這種多層膜光罩雖然可維持光罩的反射率,但另一方面會影響臨界線 ...
極紫外輻射
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極紫外輻射(英語:Extreme ultraviolet radiation)或高能紫外輻射,簡稱EUV、XUV,是波長在124nm到10nm之間的電磁輻射,對應光子能量為10eV到124eV。
藉助CO 2 高功率雷射系統和錫產生EUV輻射
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EUV光刻的一大挑戰在於產生13.5奈米的最佳波長光束。解決方案:透過雷射射束生成提供極短波長光束的發光電漿。但如何先形成電漿?發生器讓錫 ...