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「euv原理」文章包含有：「EUV是個什麼酷東西？—決定未來半導體先進製程的關鍵技術」、「全球瘋搶EUV曝光機！究竟是摩爾定律的救命曙光」、「半導體產業不可或缺的曝光機，是「這些企業」的心血結晶！」、「挽救摩爾定律：ASML極紫外光（EUV）微影技術量產的開發歷程」、「摩爾定律的華麗謝幕：EUV微影機」、「極紫外光EUV微影是什麼？影片直擊台積電拚5奈米的關鍵...」、「極紫外光微影製程」、「極紫外輻射」、「藉助CO2高功率雷射系統和錫產生EUV輻...
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EUV是個什麼酷東西？ — 決定未來半導體先進製程的關鍵技術
https://semiknow-official.medi
EUV，全名為Extreme Ultraviolet，中文叫做「極紫外光」，是一種波長極短的紫外光，一般生活中要塗乳液防曬的紫外線波長約在100~400奈米，而極紫外光才 ...
全球瘋搶EUV 曝光機！究竟是摩爾定律的救命曙光
https://www.charmingscitech.na
簡單來說，當工程師規劃好晶圓上各區域的功能後，會將電路圖刻在石英片上面，製作成「光罩」，當光束從光罩上方照下來，透過由透鏡組成的光學系統，照射到 ...
半導體產業不可或缺的曝光機，是「這些企業」的心血結晶！
https://www.stockfeel.com.tw
從原理上看，曝光機的工作原理，就是讓光穿過光掩模，然後通過一系列透鏡將其縮小，最終落在覆蓋有曝光膠的基板上。由於光掩模，曝光膠的某些部分被光照射 ...
挽救摩爾定律：ASML 極紫外光（EUV）微影技術量產的開發歷程
https://technews.tw
EUV 光的產生是用二氧化碳雷射每秒5 萬次去轟擊液態錫滴。出來的EUV 光通過一個直徑為0.65 公尺的橢球反光鏡送進微影機台裡頭。錫滴位於橢球反光 ...
摩爾定律的華麗謝幕：EUV微影機
https://www.digitimes.com.tw
極紫外光EUV微影是什麼？影片直擊台積電拚5奈米的關鍵 ...
https://www.bnext.com.tw
什麼是極紫外光（EUV）微影技術？關心台積電為何能連續多年業績創高，此關鍵技術絕對不能忽視，半導體設備巨頭ASML用視覺影像讓你知道EUV怎麼運作的。
極紫外光微影製程
https://zh.wikipedia.org
EUV光罩與傳統光罩也截然不同，具複合多塗層反射鏡(分散式布拉格反射器)的光罩可將電路圖案反射到晶圓上。這種多層膜光罩雖然可維持光罩的反射率，但另一方面會影響臨界線 ...
極紫外輻射
https://zh.wikipedia.org
極紫外輻射（英語：Extreme ultraviolet radiation）或高能紫外輻射，簡稱EUV、XUV，是波長在124nm到10nm之間的電磁輻射，對應光子能量為10eV到124eV。
藉助CO 2 高功率雷射系統和錫產生EUV輻射
https://www.trumpf.com
EUV光刻的一大挑戰在於產生13.5奈米的最佳波長光束。解決方案：透過雷射射束生成提供極短波長光束的發光電漿。但如何先形成電漿？發生器讓錫 ...