e chuck維修:再生製造意德士
再生製造意德士
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CIP-軒運科技有限公司-半導體設備廠商
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ESC/Heater 關鍵耗材翻修Refurbishment ... ESC翻修E-chuck Refurbishment. CVD/PVD/ALD/Etching 8/12設備使用之ESC 翻修。
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E chuck
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靜電吸盤&維修. 翔名-靜電吸盤開發核心競爭優勢. _自主化測試驗證設備. 快速測試分析&有效率解決問題. _自主化製造技術. 縮短交期並全面控制品質. _在地化核心價值.
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各式靜電吸盤的新品及維修服務
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我們專注於半導體機台內的靜電吸盤(Electrostatic chuck,E-CHUCK,ESC),舉凡6”、8”、12”尺寸的聚醯亞胺膜(Polyimide,PI)、陽極處理(anodized)及陶瓷噴塗(Ceramic,Thermal ...
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靜電吸盤的優勢
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Advantages of Electrostatic Chuck. 可於真空環境下產生吸力. 無微粒產生. 高平坦度. 吸附力量均勻. 可控制溫度. 可用於多孔材料. 自從2011年成功生產第一個E-Chuck ...
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靜電吸盤解決方案
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科治引進專業技術與製程,建置台灣產線,致力於專業的檢驗分析暨維修技能,提供 ... ESC 原理是藉由施加超過1000伏的高電壓於電極承載板上產生靜電力,而使電極承載板 ...