e chuck維修：靜電吸盤解決方案
靜電吸盤解決方案
科治引進專業技術與製程，建置台灣產線，致力於專業的檢驗分析暨維修技能，提供...ESC原理是藉由施加超過1000伏的高電壓於電極承載板上產生靜電力，而使電極承載板 ...。其他文章還包含有：「CIP－軒運科技有限公司－半導體設備廠商」、「Echuck」、「再生製造意德士」、「各式靜電吸盤的新品及維修服務」、「靜電吸盤的優勢」
查看更多 離開網站基本原理與流程：目前半導體晶圓製程多使用國外真空電漿系統，其中製程良率的關鍵之一，是靜電力吸附式晶圓乘載盤模組(ElectrostaticChuck，簡稱ESC或靜電力吸盤)。ESC原理是藉由施加超過1000伏的高電壓於電極承載板上產生靜電力，而使電極承載板和晶圓間產生吸附，配合冷卻裝置讓成膜/蝕刻製程能有效被控制。優點：根據客戶異常下機原因，協助解決客戶basksideHeliumLeakage、CurrentLeakage、chamberLeakage問題，並協助客戶改善製程及設備問題。延長ESC使用壽命，降低客戶成本。維修產品類別庫倫式ESC：HDP8/12"、TELSTM等系列。JR...
CIP－軒運科技有限公司－半導體設備廠商
https://www.mlti.com.tw
ESC/Heater 關鍵耗材翻修Refurbishment ... ESC翻修E-chuck Refurbishment. CVD/PVD/ALD/Etching 8/12設備使用之ESC 翻修。
E chuck
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靜電吸盤&維修. 翔名-靜電吸盤開發核心競爭優勢. _自主化測試驗證設備. 快速測試分析&有效率解決問題. _自主化製造技術. 縮短交期並全面控制品質. _在地化核心價值.
再生製造意德士
https://www.yeedex.com.tw
再生製造與維修校正製程設備中之貴重精密零組件如靜電吸盤, 陶瓷加熱器, 真空吸盤, 陶瓷覆膜, 陽極處理,...等. r1 r2. r3 r4. esc r esc ...
各式靜電吸盤的新品及維修服務
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我們專注於半導體機台內的靜電吸盤(Electrostatic chuck,E-CHUCK,ESC)，舉凡6”、8”、12”尺寸的聚醯亞胺膜(Polyimide,PI)、陽極處理(anodized)及陶瓷噴塗(Ceramic,Thermal ...
靜電吸盤的優勢
https://www.calitech.com.tw
Advantages of Electrostatic Chuck. 可於真空環境下產生吸力. 無微粒產生. 高平坦度. 吸附力量均勻. 可控制溫度. 可用於多孔材料. 自從2011年成功生產第一個E-Chuck ...