倍縮光罩:光罩
光罩
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儲存與運輸EUV倍縮光罩的挑戰
https://www.eettaiwan.com
如同所有倍縮光罩一樣,運用在EUV微影技術上的倍縮光罩也須仰賴倍縮光罩傳送盒,以利安全存放,並於微影圖案成形、檢查、清潔與修復期間發揮保護作用 ...
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光罩
https://zh.wikipedia.org
倍縮光罩(Reticle):在投影式微影機中,光罩作為一個光學元件位於會聚透鏡(condenser lens)與投影透鏡(projection lens)之間,它並不和晶圓有直接接觸。光罩上的 ...
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光罩和倍縮光罩管理Mask and Reticle Handling
http://www.sinmat.com.tw
專業經銷及代理國際性領導品牌產品,我們除了是英特格Entegris、Mykrolis、Millipore 的台灣及中國地區的代理商之外,同時也經銷廣被推崇的品牌- CEMA 喜瑪、Greene ...
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光阻劑
http://homepage.ntu.edu.tw
光罩/倍縮光罩. 曝光. 經顯影. 負光阻. 紫外光. 正光阻. 基片. 基片. 基片. 光阻. 負光阻及正光阻. 基片. 光阻. 4. 光阻成分. • 高分子. • 溶劑. 1. 溶解高分子.
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工學院半導體材料與製程設備學程
https://ir.nctu.edu.tw
上的誤差也會相對被縮小,這種形式的光罩被稱為倍縮. 光罩(Reticle)。步進式曝光機每次曝光時僅在晶圓上的局. 部區域進行曝光,這樣的區域我們一般稱為Die,曝光完.
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知識力
https://www.ansforce.com
➤倍縮光罩(Reticle):當光罩上的圖形線寬與投射到矽晶圓上的線寬不同有縮小,也就是尺寸n:1(目前晶圓廠內大多使用4:1到10:1),光罩與晶圓(Wafer)上的晶片 ...