燃燒式local scrubber：晶圓製程機台裝設燃燒水洗式尾氣處理設備專案計畫書
晶圓製程機台裝設燃燒水洗式尾氣處理設備專案計畫書
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IPI Local Scrubber 臺禹旭禹製程廢氣處理設備
https://www.ipi-tbc.com.tw
燃燒水洗式廢氣處理機是一個專門處理含氟性氣體的廢氣處理系統，它混合了高溫燃燒分解及水溶解的過程，將製程所產生的廢氣，經由反應室二階段的高溫燃燒， 反應成粉末 ...
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專為高科技產業所提供的廢氣處理系統
https://www.das-ee.com
高溫分解 ... 製程廢氣將於系統中的分解區燃燒（可視需求添加燃氣）。依廢氣不同的組成，在燃燒時會產生不同的反應，例如氧化作用、還原反應或高溫分解。
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旺宏電子晶圓五廠製程機台新設尾氣溫室氣體破壞處理設備專案 ...
https://ghgregistry.moenv.gov.
機台時，同步額外安裝「燃燒水洗式」尾氣破壞處理設備(Local Scrubber, LS)共24. 台(其中有兩台機台共用1台LS)，以燃燒破壞記憶體晶圓製造過程之氟化氣體(FCs)。 (2) ...
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棨揚企業有限公司
https://www.chiyotw.com
燃燒水洗式-Twin ( 雙腔室雙面板控制). 工藝流程：天然氣高溫熱裂解有毒氣體→渦 ... CMS 中央監控系統- Local Scrubber 機台用. 保護環境是我們每個人的責任. 機台類型 ...
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穩懋半導體製程機台Local Scrubber 改採電漿式計畫書
https://ghgregistry.moenv.gov.
其結合了高溫電漿分解與水溶解的過程，將製程所產生的廢氣經. 由反應式二階段的高溫燃燒，反應成粉末或溶解於水中，再經由過濾程序排放至廠. 務處理系統，可處理半導體廠大 ...
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第三章製程尾氣處理研究實驗設備
https://ir.nctu.edu.tw
台灣所使用之Local Scrubber 約有十幾種廠牌型號，而依其原理大概可. 分電熱水洗式、燃燒式、填充水洗式、乾式吸附式..等，端視使用者的需求而.