燃燒式local scrubber:IPI Local Scrubber 臺禹旭禹製程廢氣處理設備

IPI Local Scrubber 臺禹旭禹製程廢氣處理設備

IPI Local Scrubber 臺禹旭禹製程廢氣處理設備

燃燒水洗式廢氣處理機是一個專門處理含氟性氣體的廢氣處理系統,它混合了高溫燃燒分解及水溶解的過程,將製程所產生的廢氣,經由反應室二階段的高溫燃燒,反應成粉末 ...。其他文章還包含有:「專為高科技產業所提供的廢氣處理系統」、「旺宏電子晶圓五廠製程機台新設尾氣溫室氣體破壞處理設備專案...」、「晶圓製程機台裝設燃燒水洗式尾氣處理設備專案計畫書」、「棨揚企業有限公司」、「穩懋半導體製程機台LocalScrubber改採...

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專為高科技產業所提供的廢氣處理系統
專為高科技產業所提供的廢氣處理系統

https://www.das-ee.com

高溫分解 ... 製程廢氣將於系統中的分解區燃燒(可視需求添加燃氣)。依廢氣不同的組成,在燃燒時會產生不同的反應,例如氧化作用、還原反應或高溫分解。

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旺宏電子晶圓五廠製程機台新設尾氣溫室氣體破壞處理設備專案 ...
旺宏電子晶圓五廠製程機台新設尾氣溫室氣體破壞處理設備專案 ...

https://ghgregistry.moenv.gov.

機台時,同步額外安裝「燃燒水洗式」尾氣破壞處理設備(Local Scrubber, LS)共24. 台(其中有兩台機台共用1台LS),以燃燒破壞記憶體晶圓製造過程之氟化氣體(FCs)。 (2) ...

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晶圓製程機台裝設燃燒水洗式尾氣處理設備專案計畫書
晶圓製程機台裝設燃燒水洗式尾氣處理設備專案計畫書

https://ghgregistry.moenv.gov.

執行本專案所購置之燃燒式尾氣處理設備(Local Scrubber, LS)及儀控設備安裝、. 管線施工及維護操作費用等,全數由本公司自行負擔,並無接受任何政府計畫之資. 金援助 ...

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棨揚企業有限公司
棨揚企業有限公司

https://www.chiyotw.com

燃燒水洗式-Twin ( 雙腔室雙面板控制). 工藝流程:天然氣高溫熱裂解有毒氣體→渦 ... CMS 中央監控系統- Local Scrubber 機台用. 保護環境是我們每個人的責任. 機台類型 ...

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穩懋半導體製程機台Local Scrubber 改採電漿式計畫書
穩懋半導體製程機台Local Scrubber 改採電漿式計畫書

https://ghgregistry.moenv.gov.

其結合了高溫電漿分解與水溶解的過程,將製程所產生的廢氣經. 由反應式二階段的高溫燃燒,反應成粉末或溶解於水中,再經由過濾程序排放至廠. 務處理系統,可處理半導體廠大 ...

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第三章製程尾氣處理研究實驗設備
第三章製程尾氣處理研究實驗設備

https://ir.nctu.edu.tw

台灣所使用之Local Scrubber 約有十幾種廠牌型號,而依其原理大概可. 分電熱水洗式、燃燒式、填充水洗式、乾式吸附式..等,端視使用者的需求而.