Mask Aligner：自動光罩對準曝光機

自動光罩對準曝光機

SUSSMicroTec為高端晶圓廠自動化、量產和研發環境提供系列光罩對準曝光機。SUSSMicroTec設計的光罩對準曝光機系統，適用于3D封裝、先進封裝、MEMS、LED、化合物半導體、 ...。其他文章還包含有：「Aligner(semiconductor)」、「AutoMaskAligner」、「ManualMaskAligner」、「Semi」、「光學微影系統(MaskAlignerandExposureSystem)」、「光罩對準曝光機(MaskAligner德國Karl」、「曝光機MaskAligner設備如何執行量測？」、「曝...

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Aligner (semiconductor)

https://en.wikipedia.org

An aligner, or mask aligner, is a system that produces integrated circuits (IC) using the photolithography process. It holds the photomask over the silicon ...

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Auto Mask Aligner

https://www.mrnanotec.com.tw

產品簡介 · Exposure light source: 3.5KW、5KW、8KW、10KW · Substrate Size: 4.5~12 方形基板 · Uniformity: ≦ 5% · Alignment Accuracy: ± 5um · Throughput: 8~10pnl/min.

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Manual Mask Aligner

https://www.mrnanotec.com.tw

Manual Mask Aligner. 首頁 · 產品與服務 · 半導體設備; Manual Mask Aligner. 6吋垂直式曝光機. 雙面對準單面曝光機. 雙面曝光機. 簡易型曝光機. 水平式曝光機. 旋轉式 ...

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Semi

https://www.mrnanotec.com.tw

基本規格 · Exposure light source: 350W、500W、1KW、2KW · Substrate Size: 2~12 · Uniformity: ≦ 5% · Alignment Accuracy: ± 1um · Throughput: ≧ 70wph ...

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光學微影系統(Mask Aligner and Exposure System)

http://www.nano.nsysu.edu.tw

中文名稱：光學微影系統(含光罩對準機Mask Aligner、光阻旋轉塗佈機spin-coater、烤盤hot-plate). 英文名稱：Mask Aligner and Exposure System. 二、儀器廠牌、型號 ...

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光罩對準曝光機(Mask Aligner 德國Karl

https://web.phys.ntu.edu.tw

光罩對準曝光機(Mask Aligner 德國Karl-Suss)操作程序. 1、在使用登記表登錄使用人及開機時間。 2、打開右邊鐵架上之汞燈電源(須熱機20 分鐘以上，光源才會穩定)。 3 ...

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曝光機Mask Aligner設備如何執行量測？

https://www.goodtechnology.com

是製造微機電、光電、二極體大規模積體電路的關鍵裝置。可以分為兩種，分別是模板與圖樣大小一致的contact aligner，曝光時模板緊貼晶圓；以及利用短波長雷 ...

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曝光機Süss MicroTec MJB3 Mask Aligner ...

https://dop.nsysu.edu.tw

名稱：曝光機Süss MicroTec MJB3 Mask Aligner (Mask Aligner) ; 用途：光罩對準、曝光 ; 管理者：邱逸仁/ 方溢薪 ; 放置位置：工EC4007 ; 連絡電話或分機 · 4472.

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