深紫外光機：極紫外光EUV微影是什麼？影片直擊台積電拚5奈米的關鍵 ...
極紫外光EUV微影是什麼？影片直擊台積電拚5奈米的關鍵 ...
ASML
https://www.asml.com
我們的DUV深紫外光微影系統是當前半導體產業用於量產晶片的主力。ASML提供浸潤式和乾式微影解決方案，幫助晶片製造商量產各種節點和技術製程。 ASML的浸潤式 ...
全球瘋搶EUV 曝光機！究竟是摩爾定律的救命曙光
https://www.charmingscitech.na
極紫外光（Extreme ultraviolet, EUV）是波長小於13.5 奈米的光，使用EUV 作為光源的曝光機，即為EUV 曝光機。由於造價昂貴、製程繁複、貨源稀少，關鍵 ...
半導體廠深紫外光(248奈米波長)雷射曝光機
https://ir.nctu.edu.tw
標題: 半導體廠深紫外光(248奈米波長)雷射曝光機, A/B鏡頭及雷射共振腔壽命延長藉由高效率的功率曲線控制之研究. STUDY OF DUV 248 LENS A/B AND LASER CHAMBER ...
台積電不能沒有它！艾司摩爾崛起的秘密
https://www.iqvalue.com
在2004年之前，光刻設備機主要以光為介質，偏偏這個時候，台積電的研發副總林本堅 ... DUV是深紫外線（Deep Ultraviolet Lithography），EUV是極深紫外線（Extreme ...
小辭典》什麼是DUV設備？
https://ec.ltn.com.tw
微影設備是利用光線的波長來加工精密尺寸的晶片，又稱蝕刻機、光刻機；波長不同效率差很大。最早是使用汞燈產生的紫外光源，再來是深紫外光源（Deep ...
挽救摩爾定律：ASML 極紫外光（EUV）微影技術量產的開發歷程
https://technews.tw
EUV 光的產生是用二氧化碳雷射每秒5 萬次去轟擊液態錫滴。出來的EUV 光通過一個直徑為0.65 公尺的橢球反光鏡送進微影機台裡頭。錫滴位於橢球反光 ...
極紫外光微影製程
https://zh.wikipedia.org
極紫外光微影（英語：extreme ultraviolet lithography，中國大陸稱為極紫外光刻，簡稱「EUV」或「EUVL」）又稱作超紫外線平版印刷術, 是一種使用極紫外光波長的微影 ...
美國與荷蘭聯手揮出「組合拳」 DUV也不能直接賣給中芯國際 ...
https://tw.stock.yahoo.com
... 深紫外光（DUV）曝光機（光刻機）必須先申請出口許可。ASML最先進的機台極紫外光（EUV）光刻機早在2019年就受到限制，至今都不能賣至中國。 ASML的DUV ...