旋轉塗佈厚度：塗佈機
塗佈機
COATING製程塗佈鍍膜不均勻？
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... 塗佈液體，利用旋轉離心力的方式平均散布液體於物件上並快速甩出多於液體並令其形成一層薄膜，而轉速大小、旋轉時間、乾燥速度等都將影響薄膜形成的厚度。另外，在製程 ...
【為台灣加油打氣專欄】我國的塗佈機技術
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光阻塗佈是半導體製程中一個非常重要的步驟，我們經常要在晶圓上塗佈一層光阻劑，其厚度最薄可能是100奈米（1奈米=十億分之一米），最厚可能是50微米（1 ...
以二氧化鈦為基礎的薄膜(下)
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將少量溶膠或凝膠塗佈在基底的中心，接著將基材在高速旋轉下利用離心力散布塗料，繼續轉動使流體旋轉至基材邊緣直到達到所需的膜厚。該薄膜的厚度取決於 ...
大面積基板塗佈製程解析
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旋轉塗佈是流體離心力與黏滯力. 平衡的結果，光阻在基板上的厚度依黏. 度、轉速及旋轉時間而定。若光阻是牛. 頓流體，則光阻厚度與所在位置無關，. 即從中心到邊緣厚度都 ...
旋轉塗佈光阻液厚度及均勻度實驗分析
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... 厚度及均勻度有所影響；光阻液的黏度與溶劑的揮發性都會影響到旋轉塗佈薄膜的厚度，黏度越大薄膜會越厚，揮發性越大薄膜會越厚；旋轉時間增加雖然可使旋轉塗佈薄膜的厚度 ...
旋轉塗佈技術簡介
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優點. - 操作簡單，產品成熟度高。 - 塗佈膜厚均勻性佳(± 3-5%)。 ○ 缺點. - 塗液使用率過低(~2%)，大部分於Spread Spin. 階段損耗。 - 旋轉速度在大尺寸基版有限制。
旋轉塗佈精準定量注料解決方案
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旋轉塗佈(Spin Coating)是利用轉盤高速旋轉離心力，將基材上的塗料進行厚度均化的過程，在平滑的工件上獲得薄且均勻的塗膜。旋轉塗佈的應用常見包括在半導體、平面 ...