蝕刻製程:「蝕刻製程」找工作職缺
「蝕刻製程」找工作職缺
蝕刻(Etching)
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蝕刻(Etching). ▫. 表面物質去除化的製程: 化學蝕刻、物理蝕刻、複合蝕刻. ▫. 選擇性蝕刻或整面全區蝕刻. ▫. 選擇性蝕刻將IC光阻上的設計圖形轉移至晶圓表面層. ▫.
蝕刻技術
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蝕刻製程乃是將經過微. 影製程在表面定義出IC. 電路圖案的晶圓, 以. 化學腐蝕反應的方式,. 或物理撞擊的方式,或. 上述兩種方式的合成效. 果,去除部份材質,留.
Etch
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蝕刻製程是指介電質蝕刻或導體蝕刻,用以指明從晶圓上移除的薄膜材料類型。應用材料公司的蝕刻創新技術可滿足挑戰性持續提高的製程要求轉折點(例如: 3D NAND、EUV 圖案 ...
Chap9 蝕刻(Etching)
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利用薄膜和特定溶液間所進行的. 化學反應,來去除未被光阻覆蓋. 的薄膜. ◇ 優點:製程簡單、產量速度快、. 屬等向性蝕刻. ◇ 濕式蝕刻的化學反應屬於液相及.
經由溶液與被蝕刻物間的化學反應,來移除薄膜表面的原子
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是將某種材質自晶圓表面上移除。為了要保留未曝光的部分以製作半導體線路,必須將已曝光的部分從晶圓上除去,蝕刻製程的功能,就是要將進行微影製程前所沈積的薄膜,把 ...
晶圓製程中的乾蝕刻與濕蝕刻是什麼?
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當蝕刻種源為薄膜所攜著時,晶圓板表面便將引起化學反應,反應後之物質將自表面脫離並循排氣排至外部,藉此進行蝕刻。 乾式蝕刻中,為使能夠獲得與感光圖 ...
蝕刻
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浸入式:將板浸入蝕刻液中,用排筆輕輕刷掃。 · 泡沫式:用壓縮空氣將蝕刻液吹成泡沫,對板進行腐蝕。 · 潑濺式:用離心力將蝕刻液潑濺到覆銅板上。 · 噴淋式:用蝕刻機的塑料 ...