庫倫力型靜電吸盤:■ 什麼是靜電吸盤What is Electrostatic Chuck?
■ 什麼是靜電吸盤What is Electrostatic Chuck?
專利庫倫力型靜電吸盤的特色(1)為“庫倫力型”靜電吸盤。(2)本靜電吸盤研發改進數十年,擁有數十項國際專利,優越的吸附能力和特性為同類產品之佼佼者。。其他文章還包含有:「TW201403742A」、「[龍欣簡介]庫倫力型-無線」、「專利庫倫力型靜電吸盤PatentCoulomb」、「產品資訊」、「靜電吸盤ElectrostaticChuck」、「靜電吸盤解決方案」、「靜電盤的吸附原理」、「龍欣科技股份有限公司EDRAGONTECHCo.on...」
查看更多 離開網站■什麼是靜電吸盤E-Chuck?靜電吸盤是於電極印加電壓使電極和對象物之間產生吸附力量的裝置。可吸附多種材質ThinWarpWaferAdheredbyE-chuck ■靜電吸盤的種類(1)Coulomb-Force庫倫力型靜電吸盤“靜電吸盤”為最原始論文標示electrostatic,因而延續稱呼“靜電”吸盤。“靜電“吸盤有許多種類和製造商,其“靜電“與“摩擦靜電“之靜電不盡相同。專利“庫倫力型”靜電吸盤的原理,與其它產品很不相同。專利庫倫力型電力場為“靜止”電子產生,非摩擦靜電產生之電子或能量很高之自由電子產生。(2)Johnsen-Rahbek或JR靜電吸盤:與我們提供之吸盤不...
TW201403742A
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... 靜電電容容易變化之庫倫力型或強生拉貝克型的輔助靜電吸盤。 在本發明中,針對控制靜電吸盤之電荷量的靜電電容可變手段,即使以可變電容器或輔助靜電吸盤等之一個靜電 ...
[龍欣簡介] 庫倫力型-無線
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[龍欣簡介] 庫倫力型-無線-靜電吸盤(Cordless E-Chuck) · 1. 可吸附物體:金屬導體~半導體~絕緣體(玻璃基板)~多孔型物體~軟性物品(如, 紙張)。 · 2. 在 ...
專利庫倫力型靜電吸盤Patent Coulomb
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專利庫倫力型靜電吸盤擁有許多獨有的特性,可為許多輕薄軟易碎物件、真空環境中的工程問題,提供最佳解決方案。 □ 可吸附材質 (1) 金屬導體。(如:銅箔。) (2) 半導體 ...
產品資訊
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靜電吸盤. 庫侖式. 庫侖式靜電吸盤與晶片接觸的表面之介電層為高阻抗陶瓷材料。 · 靜電吸盤. JR型. 當靜電吸盤使用的介電層材料為半導體材料時,稱為Johnsen-Rahbek 靜電 ...
靜電吸盤Electrostatic Chuck
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靜電吸盤解決方案
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目前半導體晶圓製程多使用國外真空電漿系統,其中製程良率的關鍵之一,是靜電力吸附式晶圓乘載盤模組(Electrostatic Chuck,簡稱ESC 或靜電力吸盤)。 ... 庫倫式ESC:HDP 8/ ...
靜電盤的吸附原理
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由庫倫力支配的靜電吸盤,可以藉由高壓通電來吸附對象物。而誘電層的厚薄度會直接影響庫倫力的吸附力強度。例如:TEL DRM、TEL SCCM、TEL Vigas、AMAT Centura Ultima ...
龍欣科技股份有限公司EDRAGON TECH Co. on ...
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專利庫倫力型靜電吸盤是許多工程上輕薄軟物件、真空環境中的理想吸附工具。 □ 主要吸附應用 : (1) 超大尺寸平板玻璃。 (2) 半導體薄化晶圓。 (3) 翹 ...